[实用新型]一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置

权利要求书

1.一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，包括：样品杆(1)、样品台和真空配件清洗筐(5)；

样品台和真空配件清洗筐(5)均安装在样品杆(1)预设位置；

样品杆(1)上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。

2.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述密封装置为密封圈(6)。

3.根据权利要求2所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述密封圈(6)为O型真空密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，样品台包括有螺纹的“T”形样品台(2)，有螺纹的“T”形样品台(2)通过螺纹结构安装在样品杆(1)预设位置。

5.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，样品台包括无螺纹的“T”形样品台(3)；无螺纹的“T”形样品台(3)通过销钉结构安装在样品杆(1)预设位置。

6.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，真空配件清洗筐(5)通过螺纹结构安装在样品杆(1)伸入等离子体清洗仪一端的端部。

7.根据权利要求6所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述真空配件清洗筐(5)前端为带网格的空心正方体结构，后端为设有内螺纹的空心圆柱结构。

8.根据权利要求1所述的一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，其特征在于，所述样品杆(1)为不锈钢杆。