[实用新型]一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置

说明书

本实用新型公开了一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，包括：样品杆、样品台和真空配件清洗筐；样品台和真空配件清洗筐均安装在样品杆预设位置；样品杆上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。本实用新型的用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，为一种结构简单、便于加工的具有多功能样品承载功能的装置。

技术领域

本实用新型属于电子显微镜技术领域，特别涉及一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置。

背景技术

电子显微镜的中碳污染是广泛存在的，碳污染是指在电子束轰击下碳和含碳物质在试样表面上的进行性积累。碳污染不仅影响成像质量，对于纳米尺度材料的性能也有显著的影响。等离子体清洗仪可以产生活化的离子，通过物理和化学作用对样品表面进行处理，可以实现样品表面污染尤其是碳氢污染的去除。

然而，在实际应用中，等离子体清洗仪的价格昂贵，很多实验室只有透射电镜配备等离子体清洗仪对透射电镜样品杆进行定期清洗，而扫描电镜、聚焦离子束系统的样品台则很少做清洗。

因此，亟需一种装样装置，以实现通过透射电镜等离子清洗仪清洗各类扫描电镜及电镜样品等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，以解决上述存在的一个或多个技术问题。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，包括：样品杆、样品台和真空配件清洗筐；

样品台和真空配件清洗筐均安装在样品杆预设位置；

样品杆上设置有凸台，凸台的靠近等离子体清洗仪的一侧设置有密封装置。

进一步地，所述密封装置为密封圈。

进一步地，所述密封圈为O型真空密封圈。

进一步地，样品台包括有螺纹的“T”形样品台，有螺纹的“T”形样品台通过螺纹结构安装在样品杆预设位置。

进一步地，样品台包括无螺纹的“T”形样品台；无螺纹的“T”形样品台通过销钉结构安装在样品杆预设位置。

进一步地，真空配件清洗筐通过螺纹结构安装在样品杆伸入等离子体清洗仪一端的端部。

进一步地，所述真空配件清洗筐前端为带网格的空心正方体结构，后端为设有内螺纹的空心圆柱结构。

进一步地，所述样品杆为不锈钢杆。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的用于透射电镜等离子体清洗仪的装样装置，为一种结构简单、便于加工的具有多功能样品承载功能的装置。本实用新型的装样装置为具有多功能样品承载功能的装置，其能够使用透射电镜等离子清洗仪清洗扫描电镜、聚焦离子束的样品台和样品等，可扩大透射电镜等离子体清洗仪的应用范围。基于本实用新型的装置能够使用透射电镜等离子清洗仪清洗包括扫描电镜、聚焦离子束的样品台和样品，以及各类不宜使用导电胶固定的小尺寸真空设备的配件，可扩大透射电镜等离子体清洗仪的应用范围，节约实验成本。具体体现在：(1)基于本实用新型的装样装置，使一台只能用于透射电镜样品杆清洗的等离子清洗仪，即可实现扫描电镜、聚焦离子束等类型电镜的样品和样品台的清洗，同时可以实现各类真空设备配件的清洗，能够极大的扩展上述等离子清洗仪的使用范围。(2)相较于购置安装在扫描电镜或聚焦离子束系统上的等离子清洗仪，本实用新型可以节约购置经费，以及扫描电镜和聚焦离子束系统的实验机时。

进一步地，本实用新型的装置密封圈选用O型真空密封圈，可保证装置在使用过程中保持高真空。