[实用新型]一种探针测量装置

权利要求书

1.一种探针测量装置，其特征在于，包括：

基架；

以及设于所述基架上的：

电极夹具组件，其连接于电源，所述电极夹具组件包括固定夹具和活动夹具，所述活动夹具可相对于所述固定夹具运动以抵接于置于所述固定夹具上的待测量件；

探针测量组件，其连接于测量仪表，所述探针测量装置包括第一探针和第二探针，所述第一探针和所述第二探针均直接抵接于所述待测量件以测得测量参数，其中所述第一探针固定连接于所述活动夹具。

2.根据权利要求1所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括设于所述基架上的驱动组件，所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件连接于所述活动夹具和所述第一探针，所述第二驱动件连接于所述第二探针。

3.根据权利要求2所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括U型连接件，所述U型连接件连接于所述第一驱动件且所述U型连接件的开口朝向所述待测量件，所述活动夹具通过第一导向件连接于所述U型连接件上，所述第一探针固连于所述U型连接件上。

4.根据权利要求3所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括弹性件，所述弹性件沿所述活动夹具的运动方向设置，所述弹性件的其中一端部抵接于所述U型连接件且另一端部抵接于所述活动夹具。

5.根据权利要求4所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括U型定位件，所述U型定位件设于所述固定夹具上以定位所述待测量件。

6.根据权利要求5所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括辅助导向件，所述辅助导向件固设于所述基架上且位于所述U型连接件的两侧。

7.根据权利要求6所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括载具组件，所述载具组件包括第一载具和第二载具，所述待测量件置于所述第一载具和所述第二载具之间，所述第一载具上设有允许所述第一探针通过的通过孔，所述U型连接件抵接于所述第二载具。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的一种探针测量装置，其特征在于，所述待测量件为通道半导体激光器，所述第一探针抵接于所述激光器的阴极片，所述第二探针抵接于所述激光器的热沉。

9.根据权利要求8所述的一种探针测量装置，其特征在于，还包括连通通道，所述连通通道包括进水连通通道和出水连通通道，所述进水连通通道连通于所述激光器的进水孔，所述出水连通通道连通于所述激光器的出水孔。

10.根据权利要求9所述的一种探针测量装置，其特征在于，设于所述固定夹具上的进水连通通道和/或所述出水连通通道内设有密封件。