[实用新型]一种探针测量装置

说明书

本实用新型公开一种探针测量装置，包括：基架；以及设于所述基架上的：电极夹具组件，其连接于电源，所述电极夹具组件包括固定夹具和活动夹具，所述活动夹具可相对于所述固定夹具运动以抵接于置于所述固定夹具上的待测量件；探针测量组件，其连接于测量仪表，所述探针测量装置包括第一探针和第二探针，所述第一探针和所述第二探针均直接抵接于所述待测量件以测得测量参数，其中所述第一探针固定连接于所述活动夹具。此结构的一种探针测量装置，通过设置第一探针和第二探针直接抵接于待测量件，以减少测量误差；通过设置第一探针固定连接于活动夹具，两者可通过同一驱动件驱动，使得装置的集成化较高。

技术领域

本实用新型涉及测量装置技术领域，具体涉及一种探针测量装置。

背景技术

半导体激光器目前已在光通信、激光医疗、光纤激光器泵浦、激光监控、激光加工等方面都有着广泛的应用。其中激光器的工作过程中，电压的高低是影响高工作电流时整个激光器芯片的电光转换效率的重要因素之一。为此，需要对激光器的例如电压等的多个参数进行测量。

现有技术公开了一种测量装置，其包括一对夹持电极、一对探针、上下移动模组和左右移动模组。其中一块夹持电极与直流脉冲电源的一个输出端连接，另一块夹持电极和直流脉冲电源的另一个输出端连接，且一对夹持电极连接于上下移动模组；一对探针分别和高精度数字电压表的正极和负极对应连接，且连接于左右移动模组。通过左右移动模组带动夹持电极夹紧待测量件，并左右移动至探针的针尖的下方，以及探针在上下移动模组的驱动下下降使得针尖与待测量件的待测区域接触以测得测量参数。

但是，上述的一种测量装置，探针和夹持电极分别由不同的移动模组带动而导致集成度较低的缺陷。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的测量装置的集成度较低的缺陷，从而提供一种探针测量装置。

一种探针测量装置，包括：

基架；

以及设于所述基架上的：

电极夹具组件，其连接于电源，所述电极夹具组件包括固定夹具和活动夹具，所述活动夹具可相对于所述固定夹具运动以抵接于置于所述固定夹具上的待测量件；

探针测量组件，其连接于测量仪表，所述探针测量装置包括第一探针和第二探针，所述第一探针和所述第二探针均直接抵接于所述待测量件以测得测量参数，其中所述第一探针固定连接于所述活动夹具。

进一步地，还包括设于所述基架上的驱动组件，所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件连接于所述活动夹具和所述第一探针，所述第二驱动件连接于所述第二探针。

进一步地，还包括U型连接件，所述U型连接件连接于所述第一驱动件且所述U型连接件的开口朝向所述待测量件，所述活动夹具通过第一导向件连接于所述U型连接件上，所述第一探针固连于所述U型连接件上。

进一步地，还包括弹性件，所述弹性件沿所述活动夹具的运动方向设置，所述弹性件的其中一端部抵接于所述U型连接件且另一端部抵接于所述活动夹具。

进一步地，还包括U型定位件，所述U型定位件设于所述固定夹具上以定位所述待测量件。

进一步地，还包括辅助导向件，所述辅助导向件固设于所述基架上且位于所述U型连接件的两侧。

进一步地，还包括载具组件，所述载具组件包括第一载具和第二载具，所述待测量件置于所述第一载具和所述第二载具之间，所述第一载具上设有允许所述第一探针通过的通过孔，所述U型连接件抵接于所述第二载具。

进一步地，所述待测量件为通道半导体激光器，所述第一探针抵接于所述激光器的阴极片，所述第二探针抵接于所述激光器的热沉。