[实用新型]一种单晶硅片垂直清洗装置有效
| 申请号： | 201921861677.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN210995605U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 朱汪龙;朱玲 | 申请（专利权）人： | 无锡乐东微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹佩佩 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 垂直 清洗 装置 | ||
1.一种单晶硅片垂直清洗装置，其特征在于：包括清洗带（1）、传送带（2）、药水池（3）和电机（14）；
清洗带（1）包括凹槽（13）、转动块（11）和转动杆（12），
清洗带（1）的垂直方向的一端与送料口相通，清洗带（1）的外面设置电机（14），
清洗带（1）的垂直方向的两侧通过分别连接设有转动块（11），清洗带（1）的水平方向的两侧分别内套设有转动杆（12），转动杆（12）的两端伸出清洗带（1）内套伸入同侧的转动块（11）中，转动杆（12）沿转动块（11）的中心轴向转动，转动块（11）与电机（14）相连通，清洗带（1）底部有数个分布均匀的凹槽（13）；
传送带（2）设置在清洗带（1）的下方，传送带（2）宽度和长度均大于清洗带（1）的宽度和长度，传送带（2）的表面设有多个网眼，在传送带（2）的水平方向的两侧分别设有传送皮带，传送带（2）一端连接出料口；
药水池（3）设置在传送带（2）的下方，药水池（3）的上方是无盖的，药水池（3）上方的宽度和长度均大于传送带（2）的宽度和长度，药水池（3）的外围设有一个水泵（4），水泵（4）的一段连接抽水管（41），抽水管（41）插入药水池（3）中，水泵（4）的另一端连接送水管（42），送水管（42）连通清洗带（1）的凹槽（13）。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片垂直清洗装置，其特征在于：所述清洗带（1）的凹槽（13）的底部设有多个超声波振子。
3.根据权利要求1所述的单晶硅片垂直清洗装置，其特征在于：所述传送带（2）上的网眼小于单晶硅片的面积。
4.根据权利要求1所述的单晶硅片垂直清洗装置，其特征在于：所述传送带（2）上水平方向的两侧分别设有挡板。
5.根据权利要求1所述的单晶硅片垂直清洗装置，其特征在于：单晶硅片在凹槽（13）中停留1分钟。
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