[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基板(1)；

壳体(2)，所述壳体(2)盖设在所述基板(1)上，所述壳体(2)与所述基板(1)形成空腔(5)；

MEMS芯片(3)，所述MEMS芯片(3)置于所述空腔(5)内并与所述基板(1)通过防水组件连接；

防水组件，所述防水组件设置于所述基板(1)和所述MEMS芯片(3)之间，所述防水组件包括与所述基板(1)连接的防水膜(6)和设置在所述防水膜(6)上方与所述MEMS芯片(3)连接的支撑部(7)；

所述防水组件被配置为在外部声音传入所述MEMS芯片(3)的过程中防止液体进入所述MEMS芯片(3)内。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)上与防水膜(6)相对的位置设置有声孔(8)。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑部(7)包括平面部及与所述平面部一体设置的凸起部，所述防水膜(6)固定于所述凸起部，所述平面部上设置有进声孔。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜(6)为PTFE膜，所述PTFE膜的厚度范围为10-30μm，所述PTFE膜的孔径范围为5μm以下。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜(6)与支撑部(7)为一体结构。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)与所述防水膜(6)之间设置有固定部(9)；

所述固定部(9)被配置为将所述防水膜(6)固定于所述基板(1)和所述支撑部(7)之间。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述固定部(9)为热固化胶。

8.根据权利要求6所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜(6)与支撑部(7)之间形成第一腔体(11)，所述第一腔体(11)的高度范围为5-150μm。

9.根据权利要求6所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜(6)与基板(1)之间形成第二腔体(12)，所述第二腔体(12)的高度范围为5-150μm。

10.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)上靠近防水膜(6)一侧与防水膜(6)相对位置设置有长度小于防水膜(6)的凹槽(10)，所述凹槽(10)的深度范围为10-150μm。