[实用新型]一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备

权利要求书

1.一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，包括上壳体(1)、柔性受力弹簧（2）、外壳体（3）、振动传递杆下弹簧（4）、隔振器（5）、弹性件（6）、缓冲器（7），其中隔振器（5）包括振动接收杆（5-1）、扭转弹簧（5-2）、振动传递杆（5-3）、关节式连接结构（5-4），振动传出杆（5-5），用扭转弹簧（5-2）将振动传递杆（5-3）的锤骨端与振动接收杆（5-1）的砧骨端在一起，振动传递杆（5-3）末端与振动传出杆（5-5）由关节式连接结构（5-4）连接在一起，其特征在于：所述的缓冲器（7）由环路闭合线圈（7-1）和磁铁（7-2）、大力振动传递杆（7-3）组成，所述的大力振动传递杆（7-3）一端有螺纹、另一端固定磁铁（7-2），大力振动传递杆（7-3）螺固在上壳体(1)内上端面中心，所述的弹性件（6）为有中心孔的环状体，环绕中心孔有四个均匀对称的通孔，弹性件（6）底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆（5-1）上端面相同的凹槽，四个柔性受力弹簧（2）均高于弹性件（6）厚度，置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体(1)内上端面，四个隔振器（5）两两相背放置，其四个振动接收杆（5-1）置于四个均匀对称的凹槽内，并紧压在受力弹簧（2）上，弹性件（6）置于上壳体(1)内，隔振器柔性受力弹簧（2）、关节式连接结构（5-4）的内置弹簧、扭转弹簧（5-2）、振动传递杆下弹簧（4）未工作时都处于压缩状态，以增加隔振器（5）内部零件间的紧凑性，隔振器（5）的振动传递杆（5-3）中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧（4）一端，振动传递杆下弹簧（4）另一端固定于外壳体（3）内，隔振器（5）的振动传出杆（5-5）置于大地上，所述的外壳体（3）内径大于上壳体(1)外径，外壳体（3）内底面的中心处有带内孔的凸台（3-2），环路闭合线圈（7-1）固定于凸台（3-2）的内孔内，环路闭合线圈（7-1）内径大于磁铁（7-2）外径，当大力振动传递杆（7-3）带动磁铁（7-2）向下运动时，磁铁（7-2）可穿入环路闭合线圈（7-1）内，上壳体(1)部分置于外壳体（3）内，上壳体(1)可在外壳体（3）内沿轨道上下滑动成动配合，由于磁铁（7-2）的直径大于凸台（3-2）上孔的直径，所以不会弹出外壳体（3）。

2.如权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，其特征在于：所述的柔性受力弹簧（2）的杨氏模量大于环状弹性件（6）。