[实用新型]一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备

说明书

本实用新型涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，设备包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、振动传出杆，缓冲器由线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，利用缓冲器的磁铁切割磁感线运动起到阻尼缓冲的作用减振，利用隔振器的扭转弹簧和振动传递杆下弹簧作用起到对于轻微振动的高敏感度，响应速度快的阻振效果，效果是，首次采用磁铁‑线圈的增大系统阻尼量的方法，从而到达快速削弱大幅振动，减小晶棒因振动受损的潜在隐患；当振幅变小或者振源频率变低时，隔振器不仅保护内部的结构，还提高隔振的性能。

技术领域

本实用新型涉及一种落地用隔振缓冲设备，特别涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备。

背景技术

随着科技的进步，大尺寸硅单晶的生产已经越来越普遍，同样硅单晶的重量也越来越重，重量达到了200公斤以上，拉制好的硅单晶在落地前，表面较热，工作人员无法用手触摸，此时通过籽晶悬挂在半空中，在剪断籽晶时，稍有不慎有可能会导致单晶底部因受到地面的撞击导致晶体的断裂，更严重可能会对工作人员的安全带来威胁，现在这一问题的解决上，国内外解决方法还不成熟。

发明内容

为了降低单晶断裂的危险和减小对工作人员潜在的安全隐患，本实用新型提供一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备,具体技术方案是，一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、关节式连接结构，振动传出杆，用扭转弹簧将振动传递杆的锤骨端与振动接收杆的砧骨端在一起，振动传递杆末端与振动传出杆由关节式连接结构连接在一起，其特征在于：所述的缓冲器由环路闭合线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，所述的大力振动传递杆一端有螺纹、另一端固定磁性体，大力振动传递杆螺固在上壳体(1)内上端面中心，所述的弹性件为有中心孔的环状体，环绕中心孔有四个均匀对称的通孔，弹性件底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆上端面相同的凹槽，四个杨氏模量大于环状弹性件的柔性受力弹簧高于弹性件厚度，置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体内上端面，四个隔振器两两项背放置，其四个振动接收杆置于四个均匀对称的凹槽内，并紧压在受力弹簧上，弹性件置于上壳体内，隔振器柔性受力弹簧、关节式连接结构的内置弹簧、扭转弹簧、振动传递杆下弹簧未工作时都处于压缩状态，以增加隔振器内部零件间的紧凑性，隔振器的振动传递杆中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧一端，振动传递杆下弹簧另一端固定于外壳体内，隔振器的振动传出杆置于大地上，所述的外壳体内径大于上壳体外径，外壳体内底面的中心处有带内孔的凸台，环路闭合线圈固定于凸台的内孔内，环路闭合线圈内径大于磁铁外径，当大力振动传递杆带动磁铁向下运动时，磁铁可穿入环路闭合线圈内，上壳体部分置于外壳体内，上壳体可在外壳体内沿轨道上下滑动成动配合，由于磁铁的直径大于凸台上孔的直径，所以不会弹出外壳体。

所述的柔性受力弹簧的杨氏模量大于环状弹性件。

本实用新型的技术效果是，采用柔性受力弹簧杨氏模量大于弹性件杨氏模量作为振动传送介质，当激振力的频率或振幅不同时，本系统可选择是否要保护隔振器启动缓冲器，这样不仅提高了隔振器的使用寿命，还可保护晶棒安全；

同时首次提出了隔振器特殊结构，完成当隔振系统的振幅大或者振源频率高时，振动接收杆与振动传递杆的连接处会抵住振动传递杆内轮廓，迫使隔振器成一体的上下运动，在缓冲器的磁铁、线圈的作用下可快速消除系统内部的振能，当振幅变小或者振源频率变低时，此时又转化为隔振器减振，这种设计不仅可以保护内部的结构，还可以提高隔振性能。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的隔振器结构示意图。

具体实施方式