[实用新型]一种镀膜机用直接测温式工件盘装置

权利要求书

1.一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴(1)，回转轴(1)底部连接有工件盘(2)，其特征在于，工件盘(2)上设置有若干组测温装置(3)，测温装置(3)包括设置在工件盘(2)顶部的铂电阻(3.1)，铂电阻(3.1)连接有数据线(3.2)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，其特征在于，回转轴(1)上套设有位于工件盘(2)上方的轴套(4)，数据线(3.2)自下而上穿过轴套(4)。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，其特征在于，回转轴(1)内开设有冷却液通道(5)，工件盘(2)内开设有与冷却液通道(5)连通的循环冷却通道(6)。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，其特征在于，冷却液通道(5)顶部连接有进液管(7)，循环冷却通道(6)末端连接有出液管(8)，出液管(8)上设置有温度检测探头(9)。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，其特征在于，循环冷却通道(6)呈旋涡状。