[实用新型]一种镀膜机用直接测温式工件盘装置

说明书

本实用新型公开了一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，涉及镀膜机技术领域，本实用新型包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，工件盘上设置有若干组测温装置，测温装置包括设置在工件盘顶部的铂电阻，铂电阻连接有数据线，本实用新型具有结构简单、可直接对工件盘测温、测温数据高的优点。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，更具体的是涉及一种镀膜机用直接测温式工件盘装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

目前镀膜机通过工件盘夹取固定工件，当对工件盘进行温度测量时都是采用间接测温的方式，将测温装置与工件盘放在相似的空间位置，通过测得的温度去类比工件盘的温度，所以得到的结果不是一个准确值，测温精度不高。

故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有镀膜机上的工件盘进行温度测量时都是采用间接测温的方式，测温精度不高的技术问题，本实用新型提供一种镀膜机用直接测温式工件盘装置。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种镀膜机用直接测温式工件盘装置，包括镀膜机上的回转轴，回转轴底部连接有工件盘，工件盘上设置有若干组测温装置，测温装置包括设置在工件盘顶部的铂电阻，铂电阻连接有数据线。

进一步地，回转轴上套设有位于工件盘上方的轴套，数据线自下而上穿过轴套。

进一步地，回转轴内开设有冷却液通道，工件盘内开设有与冷却液通道连通的循环冷却通道。

进一步地，冷却液通道顶部连接有进液管，循环冷却通道末端连接有出液管，出液管上设置有温度检测探头。

进一步地，循环冷却通道呈旋涡状。

本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型直接在工件盘上设置铂电阻，铂电阻测得的温度数据通过数据线传递给计算机(图中未画出)进行分析，能够直接测量工件盘的温度，对工件盘的测温精度更高。

2、将数据线穿过轴套再引出，防止回转轴转动一定角度时与数据线冲突。

3、本实用新型在工件盘内开设循环冷却通道，再通过冷却液通道注入冷却液，使冷却液流经循环冷却通道时能直接对工件盘进行冷却，冷却效果好，起到快速降温作用，从而满足特殊镀膜工艺的需求。

附图说明

图1是本实用新型一种镀膜机用直接测温式工件盘装置的结构示意图；

图2是图1中A-A处的剖视结构示意图。

附图标记：1-回转轴，2-工件盘，3-测温装置，3.1-铂电阻，3.2-数据线，4-轴套，5-冷却液通道，6-循环冷却通道，7-进液管，8-出液管，9-温度检测探头。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。