[实用新型]一种生长金刚石用散热装置有效
| 申请号： | 201921875995.0 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN212293841U | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;丁雄傑;王琦;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B25/00 | 分类号： | C30B25/00;C30B29/04 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 邓燕 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生长 金刚石 散热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种生长金刚石用散热装置，包括沉积腔体，沉积腔体内设有冷却沉积台，其特征在于，还包括托盘，托盘放置于冷却沉积台，托盘内设有导热介质；所述导热介质为金、银、铜或锡的单质中的任一种；所述导热介质的液体密度大于金刚石的密度；所述冷却沉积台设置有冷媒、冷媒进口和冷媒出口。
2.根据权利要求1所述的一种生长金刚石用散热装置，其特征在于，冷媒为软水。
3.根据权利要求1所述的一种生长金刚石用散热装置，其特征在于，导热介质常温下的形状为片状、棒状或块状中的任一种。
4.根据权利要求1所述的一种生长金刚石用散热装置，其特征在于，所述托盘由钼制成。
5.根据权利要求1所述的一种生长金刚石用散热装置，其特征在于，冷却沉积台由不锈钢制成。
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