[实用新型]一种新型晶圆研磨抛光设备

权利要求书

1.一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于：包括由上圆柱形和下圆台形组成的工作箱，所述工作箱的内部通过多根环形阵列分布的连板支撑有安装座，所述安装座的底面中心处通过支柱固定连接有放置在地面的底座，所述工作箱的顶面上固定安装有与其同轴的双轴电机，且双轴电机处于竖直状态，所述双轴电机的下输出轴穿入工作箱连接有横板，所述横板左右两端固定连接有第一清刷件，且第一清刷件贴合在工作箱的上部内壁，同时双轴电机的上输出端固定连接有连接杆，所述连接杆的另一端固定有第二清刷件，且第二清刷件贴合在工作箱的下部内壁，所述工作箱的顶部固定安装有储液箱，所述储液箱的底部通过导液管连接有环形导管，且环形导管通过多个管道固定焊接在工作箱外壁上，所述工作箱上开设有多个与管道对应导通的进液孔。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于，所述横板的下侧面左侧和右侧分别安装有箱体和气缸，所述箱体的底部依次连接有喷液管和喷液头，所述气缸的底端固定连接有研磨石。

3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于，所述安装座的顶面固定连接有电机罩，且电机罩内安装有单轴电机，所述单轴电机的输出端上固定安装有工作台。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于，所述底座的内部为空心状，且支柱的底部与底座内壁之间安装有加强筋。

5.根据权利要求2所述的一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于，所述气缸与研磨石之间至少固定有两个弹簧。

6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆研磨抛光设备，其特征在于，所述第一清刷杆和第二清刷杆均包括杆体，所述杆体的外表面粘接有刷毛。