[实用新型]一种阴极旋转电沉积装置有效
| 申请号： | 201921884078.9 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN210886285U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 孔泽宇;刘凯瑞;王日鑫 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D17/12;C25D21/10;C25D21/06;C25D5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 旋转 沉积 装置 | ||
1.一种阴极旋转电沉积装置，包括阴极挂板（5）、阴极（6）、阳极（9）、电沉积电源（12）和循环泵（15），其特征在于：它还包括电镀外槽（8）、驱动电机（1）、联轴器（2）、旋转轴（4）、轴承-轴承座组件（3）和滤网（11）；所述的电镀外槽（8）设有隔液区（8-2）、暂存区（8-3）、内槽底座（8-1）、内槽（7）、过滤区（8-4）、循环出液孔（14）和循环进液孔（16）；所述的内槽（7）固定安设于内槽底座（8-1）上，且与旋转轴（4）配合联接的壁面设有内槽出液孔（13），位于过滤区（8-4）一侧的壁面设有溢流口（10）；所述的溢流口（10）的高度高于内槽出液孔（13）的高度；所述的驱动电机（1）固定安设于隔液区（8-2）内；所述的旋转轴（4）的一端通过联轴器（2）与驱动电机（1）的输出轴同轴线联接，另一端与轴承-轴承座组件（3）配合联接，且依次穿过隔液区（8-2）的壁面和内槽（7）的壁面并伸入内槽（7）；所述的滤网（11）固定安设于过滤区（8-4）内；所述的循环出液孔（14）和循环进液孔（16）齐平，并通过循环泵（15）联接。
2.根据权利要求1所述的一种阴极旋转电沉积装置，其特征在于：所述的内槽出液孔（13）的高度比隔液区（8-2）底面的高度低3~5cm。
3.根据权利要求1所述的一种阴极旋转电沉积装置，其特征在于：所述的滤网（11）的高度比循环进液孔（16）的高度高5~10cm。
4.根据权利要求1所述的一种阴极旋转电沉积装置，其特征在于：所述的溢流口（10）的高度比滤网（11）的高度高10~15cm。
5.根据权利要求1所述的一种阴极旋转电沉积装置，其特征在于：所述的循环出液孔（14）的高度比内槽底座（8-1）上表面的高度低5~10cm。
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