[实用新型]一种阴极旋转电沉积装置

说明书

本实用新型公开了一种阴极旋转电沉积装置，包括阴极挂板、阴极、阳极、电沉积电源、循环泵，电镀外槽、驱动电机、联轴器、旋转轴、轴承‑轴承座组件和滤网；电镀外槽设有隔液区、暂存区、内槽底座、内槽、过滤区、循环出液孔和循环进液孔；内槽固定安设于内槽底座上，且与旋转轴配合联接的壁面设有内槽出液孔，位于过滤区一侧的壁面设有溢流口；溢流口的高度高于内槽出液孔的高度；驱动电机固定安设于隔液区内；旋转轴的一端通过联轴器与驱动电机的输出轴同轴线联接，另一端与轴承‑轴承座组件配合联接，且依次穿过隔液区的壁面和内槽的壁面并伸入内槽；滤网固定安设于过滤区内；循环出液孔和循环进液孔齐平，并通过循环泵联接。

技术领域

本实用新型涉及一种阴极旋转电沉积装置，属于电沉积领域。

背景技术

电沉积技术因具有能精确复制细微特征、工艺温度低、微组织结构与性能易控、不受工件空间尺寸和形状限制等优点而在工业界多有应用。应用中，电沉积层的厚度时常出现不均匀现象，进而影响电沉积产品性能的有效发挥。如何获得厚度分布均匀的电沉积层一直是该领域内技术人员关注的重点和核心。阴极往复直线移动的方法是产业界用以提高电沉积层厚度分布均匀性常用手段之一，但这种方式阴极只能在水平或者竖直的单一方向上移动，无法使电沉积层整个表面的厚度均匀。如果在电沉积过程中阴极进行持续的旋转，则无疑会克服阴极在单一方向上移动所存在的局限性，工艺效果会更佳。因此，需要开发一种阴极旋转电沉积装置，以能更好地满足电沉积层厚度均匀的需要。

实用新型内容

为克服现有技术的不足，本实用新型提出了一种阴极旋转电沉积装置。

本实用新型的技术方案是：一种阴极旋转电沉积装置，包括阴极挂板、阴极、阳极、电沉积电源和循环泵，它还包括电镀外槽、驱动电机、联轴器、旋转轴、轴承-轴承座组件和滤网；所述的电镀外槽设有隔液区、暂存区、内槽底座、内槽、过滤区、循环出液孔和循环进液孔；所述的内槽固定安设于内槽底座上，且与旋转轴配合联接的壁面设有内槽出液孔，位于过滤区一侧的壁面设有溢流口；所述的溢流口的高度高于内槽出液孔的高度；所述的驱动电机固定安设于隔液区内；所述的旋转轴的一端通过联轴器与驱动电机的输出轴同轴线联接，另一端与轴承-轴承座组件配合联接，且依次穿过隔液区的壁面和内槽的壁面并伸入内槽；所述的滤网固定安设于过滤区内；所述的循环出液孔和循环进液孔齐平，并通过循环泵联接。

所述的内槽出液孔的高度比隔液区底面的高度低3~5cm。

所述的滤网的高度比循环进液孔的高度高5~10cm。

所述的溢流口的高度比滤网的高度高10~15cm。

所述的循环出液孔的高度比内槽底座上表面的高度低5~10cm。

本实用新型的工作原理是：在电沉积过程中，固定于隔液区的驱动电机通过联轴器、旋转轴和阴极挂板带动阴极相对于阳极作旋转运动，电解液从内槽出液孔流入外槽暂存区，且旋转轴与内槽壁联接处也会有电解液泄漏进入外槽暂存区。此时循环泵持续工作，将暂存区的电解液持续泵入外槽的过滤区，经过过滤区的滤网后通过溢流口进入内槽，避免了内槽电解液的泄漏，且通过内槽和外槽之间的循环与过滤，加强了电解液的流动性，并提高了电沉积层厚度的均匀性。

与现有技术相比，本实用新型的突出优点是：

1. 电机通过联轴器、旋转轴和阴极挂板在电沉积过程中带动阴极旋转，改善了电沉积层的均匀性；

2. 电镀槽分为外槽和内槽，内槽与旋转轴配合联接位置的溶液泄漏进入外槽，并通过循环和过滤溢流回内槽，改善了旋转轴与槽壁联接处密封困难，电解液泄漏的问题。

附图说明

图1为本实用新型装置结构示意图。

图2为电镀槽剖视图。