[实用新型]一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构有效
申请号: | 201921884778.8 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN210796697U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 王鹏;陶飞 | 申请(专利权)人: | 扬州合晶科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B15/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 刘红阳 |
地址: | 225000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 18 寸单晶炉热场 顶部 保温 支撑 定位 结构 | ||
1.一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,所述定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置,其特征在于,所述定位台阶上设置有定位槽,所述定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽,所述支撑环为圆环结构,支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起,所述支撑环上表面设置有凹槽,顶部保温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位,所述支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。
2.根据权利要求1所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,其特征在于:所述定位槽距离定位台阶内边缘距离不小于10mm。
3.根据权利要求2所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,其特征在于:所述倒圆不小于5mm。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,其特征在于:所述定位槽宽度不小于10mm。
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