[实用新型]一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构有效

专利信息
申请号: 201921884778.8 申请日: 2019-11-04
公开(公告)号: CN210796697U 公开(公告)日: 2020-06-19
发明(设计)人: 王鹏;陶飞 申请(专利权)人: 扬州合晶科技有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B11/00;C30B15/00
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 刘红阳
地址: 225000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 18 寸单晶炉热场 顶部 保温 支撑 定位 结构
【说明书】:

本实用新型公开一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置,定位台阶上设置有定位槽,定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽,支撑环为圆环结构,支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起,支撑环上表面设置有凹槽,顶部保温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位,支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。本申请更改支撑环定位结构,保证石墨碎屑不会落入单晶炉中,同时在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆,避免热应力引起的石墨脱落。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉热场保温设备领域,特别是涉及一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构。

背景技术

单晶炉热场外部需设置保温设备,如附图1所示,单晶炉外设置有侧部保温装置,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,所述定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置。传统支撑环如图2所示,其在环体底部外侧设置有定位面,定位面为凹陷的平面,在安装时,支撑环通常内侧先与侧部保证装置顶部接触,接触时支撑环容易产生磕碰,由于支撑环为石墨制成,磕碰易产生石墨碎屑,石墨碎屑容易落入单晶炉的硅液中。同时,在热应力效应下,石墨支撑内侧尖锐转角处经常会发生脱落,并掉落至硅液中,导致产品无法生产或产品不合格。

发明内容

为了解决以上问题,本实用新型提供一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,更改支撑环定位结构,保证石墨碎屑不会落入单晶炉中,同时在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆,避免热应力引起的石墨脱落。

为达此目的,本实用新型提供一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,所述定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置,所述定位台阶上设置有定位槽,所述定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽,所述支撑环为圆环结构,支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起,所述支撑环上表面设置有凹槽,顶部保温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位,所述支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。

本实用新型的进一步改进,所述定位槽距离定位台阶内边缘距离不小于10mm。

本实用新型的进一步改进,所述倒圆不小于5mm。

本实用新型的进一步改进,所述定位槽宽度不小于10mm。

本申请一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,其实现的技术效果如下:

(1)更改支撑环定位结构,在支撑环底部外侧设置定位凸起,侧部保温装置定位台阶上设置定位槽,在安装时,定位凸起与定位槽先接触,接触产生的石墨碎屑落入定位槽中,不会落入单晶炉中;

(2)在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆,避免热应力引起的石墨脱落。

附图说明

图1为现有的支撑环定位结构示意图;

图2为现有的支撑环结构示意图;

图3为本实用新型支撑环结构示意图;

图4为本实用新型支撑环定位结构示意图;

1、单晶炉;2、侧保温装置;3、传统支撑环;4、顶部保温装置;5、石墨碎屑;6、支撑环; 201、定位台阶;202、定位槽;301、定位面;601、定位凸起;602、倒圆。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述:

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