[实用新型]一种晶硅电池制绒槽用辅助设备有效
申请号: | 201921888784.0 | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN210640185U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 王兴明 | 申请(专利权)人: | 常州启航能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电池 制绒槽用 辅助 设备 | ||
1.一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,包括排放区域(1)、设备区域(2)、电控区域(3)以及设备区域(2)内部设置的过滤器(17)、分离罐(12)和储液罐(6),其特征在于:所述设备区域(2)下方设置有排放区域(1),且设备区域(2)侧面设置有电控区域(3),设备区域(2)内部安装有过滤器(17),且过滤器(17)的进液口通过第一磁力泵(18)与输料管道(21)相连接,过滤器(17)的出液口通过带有第二电磁阀(13)的输送管道(16)与分离罐(12)的进液口相连接,并且分离罐(12)的出液口连接带有第四电磁阀(31)的废料排放管道(32),分离罐(12)侧面安装有上下连通的分离罐循环管(15),分离罐(12)的溢流口通过带有第一电磁阀(10)的分离罐溢流管(11)与储液罐(6)相连接,且储液罐(6)的出液口通过带有第一控制阀(4)的储夜罐出夜管(37)连接第二磁力泵(33),且第二磁力泵(33)输出口连接带有第五电磁阀(35)的设备管(36)。
2.根据权利要求1所述的一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,其特征在于:所述设备区域(2)左侧面通过带有调压阀的管道连接鼓泡装置(20)以及CDA水循环系统(19),且设备区域(2)上侧面连通有放空管道(14),并且设备区域(2)下方侧面连通带有第四控制阀(25)的设备区排放管(26),同时设备区排放管(26)、废料排放管道(32)的管口、设备区排放管(26)的管口、废料管(30)上安装的第五控制阀(27)部分以及第六控制阀(34)管道部分均设置的排放区域(1)内部。
3.根据权利要求1所述的一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,其特征在于:所述储液罐(6)内部安装有PTFE投入式加热器,且储液罐(6)内部的温度为75℃,并且储液罐以及设备管道均为PPH管道。
4.根据权利要求1所述的一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,其特征在于:所述储液罐(6)上安装有液位传感器和温度传感器,并且储液罐(6)通过带有第二控制阀(8)的去离子水管道连接去离子水设备(9),第二控制阀(8)下方的去离子水管道上连接有水枪管道(7),且水枪管道(7)与去离子水管道下方的去离子水管上安装有电磁阀。
5.根据权利要求1所述的一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,其特征在于:所述储液罐(6)上方的溢流口通过储夜罐溢流管道(5)与废料排放管道(32)相连通,且第一控制阀(4)上方的储夜罐出夜管(37)上通过带有第六控制阀(34)的管道连接废料排放管道(32),并且过滤器(17)的废液出口通过带有第五控制阀(27)的废料管(30)与废料排放管道(32)相连通,废料管(30)和储夜罐溢流管道(5)与废料排放管道(32)连接处位于第四电磁阀(31)下方,同时第四电磁阀(31)上方的废料排放管道(32)上连接带有第三电磁阀(28)的分流管(24),且分流管(24)出口连接取样槽(29)。
6.根据权利要求1所述的一种晶硅电池制绒槽用辅助设备,其特征在于:所述过滤器(17)的出液口连接的输送管道(16)下方管道上依次安装有止回阀(22)和第三控制阀(23),且输送管道(16)下端与输料管道(21)与第一磁力泵(18)连接的管道连通。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造