[实用新型]一种高温ALD前驱体源储存装置

权利要求书

1.一种高温ALD前驱体源储存装置，包括源瓶瓶体、上封头和下封头，其特征在于，所述瓶体内设有加热组件，所述上封头的外侧连接阀门管件，所述阀门管件包括两个VCR接头，所述两个VCR接头分别连接有第一隔膜阀和第二隔膜阀，所述第一隔膜阀的底部设有延伸至瓶体内部的进料接管，所述第二隔膜阀的底部设有延伸至瓶体内部的出口接管，所述出口接管的底部设有出口气泡发生器，所述源瓶瓶体上设有液位计。

2.根据权利要求1所述的一种高温ALD前驱体源储存装置，其特征在于，所述源瓶瓶体和上封头、下封头通过焊接连接。

3.根据权利要求1所述的一种高温ALD前驱体源储存装置，其特征在于，所述源瓶瓶体内部的顶部和底部设置弧形面。

4.根据权利要求1所述的一种高温ALD前驱体源储存装置，其特征在于，所述瓶体采用316L不锈钢材质，瓶体内经过电化学抛光。

5.根据权利要求1至4之一所述的一种高温ALD前驱体源储存装置，其特征在于，所述瓶体为双腔结构，所述双腔通过隔板进行隔断，所述隔板上下两端分别留有通道。

6.根据权利要求1所述的一种高温ALD前驱体源储存装置，其特征在于，所述进料接管的底部连接有进料管，所述瓶体的底部侧壁设有凹槽，所述进料管的底端延伸至凹槽内。