[实用新型]一种连续自动真空镀膜设备有效
申请号: | 201921895444.0 | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN210736880U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 海玉龙;郭红波;周杰 | 申请(专利权)人: | 苏州赛睿达纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 连续 自动 真空镀膜 设备 | ||
1.一种连续自动真空镀膜设备,包括壳体(1),其特征在于,所述壳体(1)的内部设有真空镀膜室(2),所述壳体(1)的两侧分别通过螺母螺栓固定有支架(3)和底座(7),所述支架(3)的顶部通过螺栓安装有气缸(4),气缸(4)的内部设置有活塞杆(5),所述活塞杆(5)的另一端通过螺栓连接有移动隔板(6),移动隔板(6)端部设有密封件,壳体(1)的内部固定设置有分隔室(11),所述移动隔板(6)滑动设置在分隔室(11)的内部,所述壳体(1)的顶部转动安装有转动板(12),转动板(12)的两侧均焊接有支撑架(14),所述支撑架(14)的一侧通过螺栓固定有第一电机安装板(16),第一电机安装板(16)的一侧通过螺栓安装有第一电机(15),所述第一电机(15)的输出端通过联轴器连接有第一转轴,所述第一转轴的另一端通过螺钉连接有固定机构(17),所述壳体(1)的顶部固定设置有调节机构,所述调节机构与分隔室(11)的中心在同一轴线上;
所述调节机构包括第一固定板(18)、第二固定板(19)以及第二电机安装板(22),所述第一固定板(18)和第二固定板(19)之间转动安装有蜗杆(23),第二电机安装板(22)的顶部通过螺丝安装有第二电机(20),所述第二电机(20)的输出端通过联轴器连接有第二转轴,所述第二转轴的另一端通过螺母螺栓与所述蜗杆(23)的一端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种连续自动真空镀膜设备,其特征在于,所述底座(7)的顶部通过螺丝安装有真空泵(8),真空泵(8)的抽风口通过法兰盘固定连接有抽气管(9),所述抽气管(9)的另一端延伸至所述真空镀膜室(2)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种连续自动真空镀膜设备,其特征在于,所述分隔室(11)的侧壁上开设有方孔(10),所述移动隔板(6)嵌入在所述方孔(10)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种连续自动真空镀膜设备,其特征在于,所述转动板(12)的两侧均焊接有销轴(13),壳体(1)的顶部开设有方槽,方槽的侧壁均安装有第一轴承,所述销轴(13)套设在所述第一轴承的内部,其中一个销轴(13)的外部套设有蜗轮(21)。
5.根据权利要求4所述的一种连续自动真空镀膜设备,其特征在于,所述第一固定板(18)和第二固定板(19)上均安装有第二轴承,所述蜗杆(23)的两端均套设在所述第二轴承的内部,所述蜗杆(23)与蜗轮(21)啮合连接。
6.根据权利要求1所述的一种连续自动真空镀膜设备,其特征在于,所述壳体(1)的一侧通过螺丝安装有控制器,所述气缸(4)、第一电机(15)、第二电机(20)以及真空泵(8)均与所述控制器电性连接。
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