[实用新型]一种连续自动真空镀膜设备

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种连续自动真空镀膜设备，解决现有技术中存在效率低下、成本增加、镀膜间隔时间长的缺点，包括壳体，所述壳体的内部设有真空镀膜室，所述壳体的两侧分别通过螺母螺栓固定有支架和底座，所述支架的顶部通过螺栓安装有气缸，气缸的内部设置有活塞杆，所述活塞杆的另一端通过螺栓连接有移动隔板，移动隔板端部设有密封件，在每次更换工件时，可先将分隔室封闭，使工件与真空镀膜室的内部分隔，在工件更换进入后，再将分隔室打开进行镀膜加工，此时真空镀膜室内只存有少量的气体，可以快速地将真空镀膜室抽至真空，大大地提高了镀膜加工的效率且降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种连续自动真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

传统的真空镀膜设备在更换工件再次进行镀膜时，真空泵需要再次将真空镀膜室内抽至真空状态，如此反复的操作过程中，耗费了大量的加工时间的能源，不仅生产效率低下，而且成本也相应地增加，另外传统技术中在更换工件时采用链带进行运输，每次镀膜之间的间隔时间长，并不能实现真正地连续镀膜加工。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在效率低下、成本增加、镀膜间隔时间长的缺点，而提出的一种连续自动真空镀膜设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种连续自动真空镀膜设备，包括壳体，所述壳体的内部设有真空镀膜室，所述壳体的两侧分别通过螺母螺栓固定有支架和底座，所述支架的顶部通过螺栓安装有气缸，气缸的内部设置有活塞杆，所述活塞杆的另一端通过螺栓连接有移动隔板，移动隔板端部设有密封件，壳体的内部固定设置有分隔室，所述移动隔板滑动设置在分隔室的内部，所述壳体的顶部转动安装有转动板，转动板的两侧均焊接有支撑架，所述支撑架的一侧通过螺栓固定有第一电机安装板，第一电机安装板的一侧通过螺栓安装有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器连接有第一转轴，所述第一转轴的另一端通过螺钉连接有固定机构，所述壳体的顶部固定设置有调节机构，所述调节机构与分隔室的中心在同一轴线上；

所述调节机构包括第一固定板、第二固定板以及第二电机安装板，所述第一固定板和第二固定板之间转动安装有蜗杆，第二电机安装板的顶部通过螺丝安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器连接有第二转轴，所述第二转轴的另一端通过螺母螺栓与所述蜗杆的一端固定连接。

优选的，所述底座的顶部通过螺丝安装有真空泵，真空泵的抽风口通过法兰盘固定连接有抽气管，所述抽气管的另一端延伸至所述真空镀膜室的内部。

优选的，所述分隔室的侧壁上开设有方孔，所述移动隔板嵌入在所述方孔的内部。

优选的，所述转动板的两侧均焊接有销轴，壳体的顶部开设有方槽，方槽的侧壁均安装有第一轴承，所述销轴套设在所述第一轴承的内部，其中一个销轴的外部套设有蜗轮。

优选的，所述第一固定板和第二固定板上均安装有第二轴承，所述蜗杆的两端均套设在所述第二轴承的内部，所述蜗杆与蜗轮啮合连接。

优选的，所述壳体的一侧通过螺丝安装有控制器，所述气缸、第一电机、第二电机以及真空泵均与所述控制器电性连接。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中通过分隔室、移动隔板、气缸等结构的设置，设备在真空镀膜室的内部增设分隔室，在每次更换工件时，可先将分隔室封闭，使工件与真空镀膜室的内部分隔，在工件更换进入后，再将分隔室打开进行镀膜加工，此时真空镀膜室内只存有少量的气体，可以快速地将真空镀膜室抽至真空，大大地提高了镀膜加工的效率且降低了生产成本。