[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置有效

专利信息
申请号: 201921905361.5 申请日: 2019-11-07
公开(公告)号: CN212355630U 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 何启龙 申请(专利权)人: 临沂晶华陶瓷有限公司
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 276000 山东省临沂*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 静电 卡盘 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种静电卡盘及基板夹持装置,包括放置箱体(6),其特征在于,放置箱体(6)的一个侧壁上设有开口,放置箱体(6)的内壁上对称连接有若干支撑板(2),若干支撑板(2)之间等距设置,若干支撑板(2)的底部均同轴设有压板(1),若干压板(1)接近放置箱体(6)内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆(5),放置箱体(6)内壁对应处设有条形槽(8),条形槽(8)的长度等于支撑板(2)与位于下放且相邻的压板(1)之间的距离,定位杆(5)的另一端贯穿对应位置处的条形槽(8)设置,位于放置箱体(6)外部的定位杆(5)形成两排,一侧定位杆(5)均固定连接在第一竖板(7)上,两个第一竖板(7)平行设置,且第一竖板(7)垂直压板(1)、支撑板(2)设置,两个第一竖板(7)的两端之间均固定连接有横板(4),位于上方的横板(4)一侧连通设有条形通槽(14),条形通槽(14)内滑动连接有第二滑动板(13),第二滑动板(13)的一端延伸至放置箱体(6)侧壁处,第二滑动板(13)远离放置箱体(6)的一端顶部固定连接有第二竖板(15),第二竖板(15)的顶部一侧垂直连接有第一滑动板(9),第一滑动板(9)的宽度大于横板(4)的宽度,第一滑动板(9)的顶部连通设有若干导向槽(12),横板(4)的顶部对应位置处垂直连接有若干定位螺栓(10),定位螺栓(10)贯穿对应位置处的导向槽(12)设置,放置箱体(6)侧壁对应位置处等距垂直连接有若干限位板(11),相邻限位板(11)之间的距离等于第二滑动板(13)的宽度,且第二滑动板(13)远离第二竖板(15)的一端可延伸至相邻的限位板(11)之间。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置,其特征在于,放置箱体(6)的底部四角处均固定连接有滚轮(3)。

3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置,其特征在于,第一滑动板(9)、第二滑动板(13)、第二竖板(15)为一体结构。

4.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置,其特征在于,压板(1)的底部和支撑板(2)的顶部均同轴连接有防滑垫。

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