[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置

权利要求书

1.一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体(6)，其特征在于，放置箱体(6)的一个侧壁上设有开口，放置箱体(6)的内壁上对称连接有若干支撑板(2)，若干支撑板(2)之间等距设置，若干支撑板(2)的底部均同轴设有压板(1)，若干压板(1)接近放置箱体(6)内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆(5)，放置箱体(6)内壁对应处设有条形槽(8)，条形槽(8)的长度等于支撑板(2)与位于下放且相邻的压板(1)之间的距离，定位杆(5)的另一端贯穿对应位置处的条形槽(8)设置，位于放置箱体(6)外部的定位杆(5)形成两排，一侧定位杆(5)均固定连接在第一竖板(7)上，两个第一竖板(7)平行设置，且第一竖板(7)垂直压板(1)、支撑板(2)设置，两个第一竖板(7)的两端之间均固定连接有横板(4)，位于上方的横板(4)一侧连通设有条形通槽(14)，条形通槽(14)内滑动连接有第二滑动板(13)，第二滑动板(13)的一端延伸至放置箱体(6)侧壁处，第二滑动板(13)远离放置箱体(6)的一端顶部固定连接有第二竖板(15)，第二竖板(15)的顶部一侧垂直连接有第一滑动板(9)，第一滑动板(9)的宽度大于横板(4)的宽度，第一滑动板(9)的顶部连通设有若干导向槽(12)，横板(4)的顶部对应位置处垂直连接有若干定位螺栓(10)，定位螺栓(10)贯穿对应位置处的导向槽(12)设置，放置箱体(6)侧壁对应位置处等距垂直连接有若干限位板(11)，相邻限位板(11)之间的距离等于第二滑动板(13)的宽度，且第二滑动板(13)远离第二竖板(15)的一端可延伸至相邻的限位板(11)之间。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置，其特征在于，放置箱体(6)的底部四角处均固定连接有滚轮(3)。

3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置，其特征在于，第一滑动板(9)、第二滑动板(13)、第二竖板(15)为一体结构。

4.根据权利要求1所述的一种静电卡盘及基板夹持装置，其特征在于，压板(1)的底部和支撑板(2)的顶部均同轴连接有防滑垫。