[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置有效
申请号: | 201921905361.5 | 申请日: | 2019-11-07 |
公开(公告)号: | CN212355630U | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 何启龙 | 申请(专利权)人: | 临沂晶华陶瓷有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 276000 山东省临沂*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 静电 卡盘 夹持 装置 | ||
本实用新型涉及夹持装置技术领域,尤其是一种静电卡盘及基板夹持装置,包括放置箱体,放置箱体的一个侧壁上设有开口,放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板,若干支撑板之间等距设置,若干支撑板的底部均同轴设有压板,若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆,放置箱体内壁对应处设有条形槽,条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离,定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置,位于放置箱体外部的定位杆形成两排。本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持,且增大了装置整体的夹持力。
技术领域
本实用新型涉及夹持装置技术领域,尤其涉及一种静电卡盘及基板夹持装置。
背景技术
静电卡盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称,其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术,在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用,静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成,静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护,静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在进行静电卡盘吸附盘的安装以及运输的过程中,需要对其以及基板进行夹持并进行运输,现有的装置结构复杂且不利于操作,给使用者带来了极大的不便。为此,我们提出了一种静电卡盘及基板夹持装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种静电卡盘及基板夹持装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
设计一种静电卡盘及基板夹持装置,包括放置箱体,放置箱体的一个侧壁上设有开口,放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板,若干支撑板之间等距设置,若干支撑板的底部均同轴设有压板,若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆,放置箱体内壁对应处设有条形槽,条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离,定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置,位于放置箱体外部的定位杆形成两排,一侧定位杆均固定连接在第一竖板上,两个第一竖板平行设置,且第一竖板垂直压板、支撑板设置,两个第一竖板的两端之间均固定连接有横板,位于上方的横板一侧连通设有条形通槽,条形通槽内滑动连接有第二滑动板,第二滑动板的一端延伸至放置箱体侧壁处,第二滑动板远离放置箱体的一端顶部固定连接有第二竖板,第二竖板的顶部一侧垂直连接有第一滑动板,第一滑动板的宽度大于横板的宽度,第一滑动板的顶部连通设有若干导向槽,横板的顶部对应位置处垂直连接有若干定位螺栓,定位螺栓贯穿对应位置处的导向槽设置,放置箱体侧壁对应位置处等距垂直连接有若干限位板,相邻限位板之间的距离等于第二滑动板的宽度,且第二滑动板远离第二竖板的一端可延伸至相邻的限位板之间。
优选的是,放置箱体的底部四角处均固定连接有滚轮。
优选的是,第一滑动板、第二滑动板、第二竖板为一体结构。
优选的是,压板的底部和支撑板的顶部均同轴连接有防滑垫。
本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置,有益效果在于:本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持,且在滑动的第二滑动板和限位板之间的定位作用下,实现了横板的稳定放置,进而增大了装置整体的夹持力。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置的结构示意图。
图2为本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置的A的局部放大图。
图中:压板1、支撑板2、滚轮3、横板4、定位杆5、放置箱体6、第一竖板7、条形槽 8、第一滑动板9、定位螺栓10、限位板11、导向槽12、第二滑动板13、条形通槽14、第二竖板15。
具体实施方式
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