[实用新型]一种静电卡盘及基板夹持装置

说明书

本实用新型涉及夹持装置技术领域，尤其是一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体，放置箱体的一个侧壁上设有开口，放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板，若干支撑板之间等距设置，若干支撑板的底部均同轴设有压板，若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆，放置箱体内壁对应处设有条形槽，条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离，定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置，位于放置箱体外部的定位杆形成两排。本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持，且增大了装置整体的夹持力。

技术领域

本实用新型涉及夹持装置技术领域，尤其涉及一种静电卡盘及基板夹持装置。

背景技术

静电卡盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，其所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用，静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成，静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护，静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在进行静电卡盘吸附盘的安装以及运输的过程中，需要对其以及基板进行夹持并进行运输，现有的装置结构复杂且不利于操作，给使用者带来了极大的不便。为此，我们提出了一种静电卡盘及基板夹持装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种静电卡盘及基板夹持装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种静电卡盘及基板夹持装置，包括放置箱体，放置箱体的一个侧壁上设有开口，放置箱体的内壁上对称连接有若干支撑板，若干支撑板之间等距设置，若干支撑板的底部均同轴设有压板，若干压板接近放置箱体内壁的一侧上对称垂直连接有两个定位杆，放置箱体内壁对应处设有条形槽，条形槽的长度等于支撑板与位于下放且相邻的压板之间的距离，定位杆的另一端贯穿对应位置处的条形槽设置，位于放置箱体外部的定位杆形成两排，一侧定位杆均固定连接在第一竖板上，两个第一竖板平行设置，且第一竖板垂直压板、支撑板设置，两个第一竖板的两端之间均固定连接有横板，位于上方的横板一侧连通设有条形通槽，条形通槽内滑动连接有第二滑动板，第二滑动板的一端延伸至放置箱体侧壁处，第二滑动板远离放置箱体的一端顶部固定连接有第二竖板，第二竖板的顶部一侧垂直连接有第一滑动板，第一滑动板的宽度大于横板的宽度，第一滑动板的顶部连通设有若干导向槽，横板的顶部对应位置处垂直连接有若干定位螺栓，定位螺栓贯穿对应位置处的导向槽设置，放置箱体侧壁对应位置处等距垂直连接有若干限位板，相邻限位板之间的距离等于第二滑动板的宽度，且第二滑动板远离第二竖板的一端可延伸至相邻的限位板之间。

优选的是，放置箱体的底部四角处均固定连接有滚轮。

优选的是，第一滑动板、第二滑动板、第二竖板为一体结构。

优选的是，压板的底部和支撑板的顶部均同轴连接有防滑垫。

本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置，有益效果在于：本实用新型设置的支撑板能够对放置在压板顶部的基板、静电卡盘进行稳定的夹持，且在滑动的第二滑动板和限位板之间的定位作用下，实现了横板的稳定放置，进而增大了装置整体的夹持力。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种静电卡盘及基板夹持装置的A的局部放大图。

图中：压板1、支撑板2、滚轮3、横板4、定位杆5、放置箱体6、第一竖板7、条形槽 8、第一滑动板9、定位螺栓10、限位板11、导向槽12、第二滑动板13、条形通槽14、第二竖板15。

具体实施方式