[实用新型]一种DLC连续镀膜生产线

权利要求书

1.一种DLC连续镀膜生产线，其特征在于，包括呈直线依次连接的进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室，形成连通的直线通道，以及和所述直线通道平行间隔布置的回架组，所述第一工艺室组和第二工艺室组分别包括多个工艺室，所述回架组包括多个依次衔接的回架，所述生产线还包括前平移台和后平移台，前平移台和后平移台分别位于所述直线通道的两端，同时分别位于回架组的两端，所述生产线还包括阴极机构，所述阴极机构包括至少一个中频旋转阴极、至少一个线性离子源和至少一个平面阴极。

2.根据权利要求1所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：第一工艺室组包括由进口过渡室至隔离室方向依次连接的工艺室一、工艺室二和工艺室三，第二工艺室组包括由隔离室至出口过渡室方向依次连接的工艺室四和工艺室五。

3.根据权利要求2所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：工艺室一上安装有线性离子源，工艺室五上安装有平面阴极，工艺室二、工艺室三和工艺室四上各安装有中频旋转阴极。

4.根据权利要求3所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括将待镀膜的基片在所述直线通道进行传送的基片传送机构，基片传送机构包括基片架、多个磁导向和多个内传动轮，多个磁导向和多个内传动轮均匀间隔布置在进口室、进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室和出口室内，沿着所述直线通道形成直线传送路径、磁导向位于内传动轮上方，装载基片的基片架位于多个磁导向和多个内传动轮之间、沿着所述直线通道运行。

5.根据权利要求4所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：基片架垂直于水平面，基片架上端和磁导向非接触磁性连接，下端滑设在多个内传动轮上。

6.根据权利要求5所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：内传动轮外表面沿着周向内凹，基片架下端接触并滑设在所述内凹表面上。

7.根据权利要求5或6所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括传热作用的传热机构，传热机构包括冷却机构，冷却机构包括至少一个回水主冷却管道、至少一个进水主冷却管道和多个冷却板，多个冷却板分别均匀安装在隔离室、第二工艺室组、出口过渡室和出口缓冲室，多个换热板并联连接，多个换热板两端分别连接一进水主冷却管道和一回水主冷却管道，进水主冷却管道和回水主冷却管道对接外部冷却水系统。

8.根据权利要求7所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：传热机构还包括加热机构，加热机构包括多个加热器，加热器为电阻式，直接用电进行加热，多个加热器分别安装在进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室。

9.根据权利要求3所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括抽真空机构，抽真空机构包括多个分子泵，进口缓冲室、进口过渡室、第一工艺室组、隔离室、第二工艺室组、出口过渡室、出口缓冲室上各设有一分子泵。

10.根据权利要求9所述的DLC连续镀膜生产线，其特征在于：抽真空机构还包括多个分子泵管道、多个波纹管、至少一主抽气管道和前级真空泵组，每个分子泵通过一波纹管连接一分子泵管道，多个分子泵管道并联连接后连接主抽气管道。