[实用新型]一种研磨液供给系统有效
| 申请号： | 201921910666.5 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN211073205U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 任少军 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 供给 系统 | ||
1.一种研磨液供给系统，其特征在于，包括：
主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；
设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；
气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；
设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；
液体泄漏检测装置，所述液体泄漏检测装置设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接，用于检测所述气动阀是否发生泄漏。
2.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述液体泄漏检测装置包括：
第一三通阀，所述第一三通阀设置于所述气动阀与所述电磁阀之间，所述第一三通阀的第一端与所述气动阀的进气端连接，所述第一三通阀的第二端与所述电磁阀的一端连接；
液体泄漏检测单元，所述液体泄漏检测单元与所述第一三通阀的第三端连接。
3.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述液体泄漏检测单元为液体泄漏传感器。
4.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述第一三通阀为手动三通阀或电动三通阀。
5.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括：
第二三通阀，所述第二三通阀设置于所述研磨液供给端和所述气动阀之间，所述第二三通阀的第一端与所述研磨液供给端连接，所述第二三通阀的第二端与所述气动阀的第一端连接；
第三三通阀，所述第三三通阀设置于所述气动阀和所述研磨液输出端之间，所述第三三通阀的第一端与所述气动阀的第二端连接，所述第三三通阀的第二端与所述研磨液输出端连接；
备用管路，所述备用管路的一端与所述第二三通阀的第三端连接，所述备用管路的另一端与所述第三三通阀的第三端连接。
6.根据权利要求5所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述第二三通阀和所述第三三通阀为手动三通阀。
7.根据权利要求5所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述第二三通阀和所述第三三通阀为电动三通阀。
8.根据权利要求7所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括：
控制器，所述控制器的信号输入端与所述液体泄漏检测单元的信号输出端连接，所述控制器的控制信号输出端分别与所述第二三通阀和所述第三三通阀的控制端连接。
9.根据权利要求5所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述备用管路上设置有开关阀。
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