[实用新型]一种研磨液供给系统

说明书

本实用新型提供一种研磨液供给系统，包括：主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；液体泄漏检测装置，设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接，用于检测所述气动阀是否发生泄漏。根据本实用新型实施例的研磨液供给系统，可以自动检测气动阀是否发生泄漏，避免研磨液损坏电磁阀、污染气体供给管路。

技术领域

本实用新型涉及抛光加工技术领域，具体涉及一种研磨液供给系统。

背景技术

硅片抛光工艺是通过化学与机械的相互作用来达到抛光效果，抛光设备必须需要精确的控制研磨液供给。一般的控制方法是通过电磁阀和气动阀组合来完成自动供给行为。设备长期运转，气动阀也会频繁开关，会使阀门密封性不良，导致研磨液泄漏。研磨液泄漏不仅会导致抛光液的流量发生变化，并且泄漏的研磨液会流入气动阀气体供给管路，进而损坏电磁阀和污染气体供给的管路。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种研磨液供给系统，以解决研磨液泄漏导致的气体供给管路污染以及电磁阀损坏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种研磨液供给系统，其特征在于，包括：

主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；

设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；

气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；

设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；

液体泄漏检测装置，所述液体泄漏检测装置设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接，用于检测所述气动阀是否发生泄漏。

可选的，所述液体泄漏检测装置包括：

第一三通阀，所述第一三通阀设置于所述气动阀与所述电磁阀之间，所述第一三通阀的第一端与所述气动阀的进气端连接，所述第一三通阀的第二端与所述电磁阀的一端连接；

液体泄漏检测单元，所述液体泄漏检测单元与所述第一三通阀的第三端连接。

可选的，所述液体泄漏检测单元为液体泄漏传感器。

可选的，所述第一三通阀为手动三通阀或电动三通阀。

可选的，所述研磨液供给系统还包括：

第二三通阀，所述第二三通阀设置于所述研磨液供给端和所述气动阀之间，所述第二三通阀的第一端与所述研磨液供给端连接，所述第二三通阀的第二端与所述气动阀的第一端连接；

第三三通阀，所述第三三通阀设置于所述气动阀和所述研磨液输出端之间，所述第三三通阀的第一端与所述气动阀的第二端连接，所述第三三通阀的第二端与所述研磨液输出端连接；

备用管路，所述备用管路的一端与所述第二三通阀的第三端连接，所述备用管路的另一端与所述第三三通阀的第三端连接。

可选的，所述第二三通阀和所述第三三通阀为手动三通阀。

可选的，所述第二三通阀和所述第三三通阀为电动三通阀。

可选的，所述研磨液供给系统还包括：