[实用新型]一种硅片研磨机

权利要求书

1.一种硅片研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）上设置有至少两根液压杆（2）和至少两根支撑柱（3），所述支撑柱（3）上端固定连接固定座（4），所述固定座（4）中部设有移动槽（5），移动槽（5）内部安装有导向块（6），同一直线上的导向块（6）内部连接第一螺杆（7），第一螺杆（7）一端贯穿至固定座（4）外部且与第一旋转板（8）固定连接，所述导向块（6）上端与移动柱（9）相连，移动柱（9）上端与安装板（10）相连，所述安装板（10）中部安装有第二螺杆（11），所述第二螺杆（11）下端安装有固定板（13），所述第二螺杆（11）上端与第二旋转板（12）相连，所述液压杆（2）上端固定连接安装横梁（14），所述安装横梁（14）中部安装电机（15），所述电机（15）输出端与转轴（16）相连，所述转轴（16）下方设置有研磨压头（17），所述研磨压头（17）下方设置有水冷盘（18），所述水冷盘（18）下方设置有研磨片（19），所述研磨片（19）位于固定座（4）中部上方。

2.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述电机（15）两侧还是有照明灯（20）且照明灯（20）固定安装在安装横梁（14）上。

3.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述第一旋转板（8）上安装有第一手柄（21）。

4.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述第二旋转板上安装有第二手柄（22）。

5.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述导向块（6）内部设置有与第一螺杆（7）配合的内螺纹。

6.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述固定板（13）外侧还套设有保护套，所述保护套采用硅胶材料。

7.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述电机（15）通过转轴（16）与研磨压头（17）构成转动结构，且电机（15）的中心线与转轴（16）的中心线重合。

8.如权利要求1所述的一种硅片研磨机，其特征在于：所述底座（1）、固定座（4）和安装横梁（14）相互平行。