[实用新型]一种硅片烘干装置

权利要求书

1.一种硅片烘干装置，其特征在于，包括：

下滚轮(1)，所述下滚轮(1)为多个，多个所述下滚轮(1)沿水平方向依次排布，所述下滚轮(1)被配置为运输硅片(100)；

上滚轮(2)，所述上滚轮(2)为多个，多个所述上滚轮(2)沿水平方向依次排布，所述上滚轮(2)位于所述下滚轮(1)上方，所述上滚轮(2)的周面能够止抵在所述硅片(100)上；

干燥组件(3)，所述干燥组件(3)包括上出风条(31)和下出风条(32)，所述上出风条(31)上设有上出风孔，所述下出风条(32)上设有下出风孔，所述上出风条(31)与所述下出风条(32)正对设置，所述上出风条(31)夹设在两个所述上滚轮(2)之间，所述下出风条(32)夹设在两个所述下滚轮(1)之间。

2.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述上出风孔在向下的方向上朝向与所述硅片(100)的运动方向相反的方向倾斜；所述下出风孔在向上的方向上朝向与所述硅片(100)的运动方向相反的方向倾斜。

3.根据权利要求2所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述上出风孔的轴线与竖直方向的夹角为6°至8°，所述下出风孔的轴线与竖直方向的夹角为6°至8°。

4.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述干燥组件(3)还包括：

风机(33)；

加热模组(34)，所述加热模组(34)包括壳体(341)和设在所述壳体(341)内的加热件(342)，所述风机(33)的出口与所述壳体(341)的进风口相连；

稳压模组(35)，所述稳压模组(35)上设有进气口和两个出气口，所述进气口与所述壳体(341)的出风口相连，两个所述出气口分别与所述上出风条(31)和所述下出风条(32)相连。

5.根据权利要求4所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述加热件(342)为电阻丝。

6.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述上出风条(31)上设有上进风孔和多个所述上出风孔，多个所述上出风孔沿所述上出风条(31)的长度方向均匀分布，所述上进风孔的直径为2cm-3cm；所述上出风孔的直径为0.5mm-1.5mm。

7.根据权利要求1所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述下出风条(32)上设有下进风孔和多个所述下出风孔，多个所述下出风孔沿所述下出风条(32)的长度方向均匀分布，所述下进风孔的直径为2cm-3cm；所述下出风孔的直径为0.5mm-1.5mm。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述硅片烘干装置还包括收集槽(4)，所述收集槽(4)位于所述下滚轮(1)下方。

9.根据权利要求8所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述收集槽(4)上开设有排液孔(41)，所述排液孔(41)与排水管道相连，所述排水管道上设有排水阀(42)。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片烘干装置，其特征在于，所述干燥组件(3)为沿所述硅片(100)的运输方向间隔设置的多个。