[实用新型]一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，包括推车框架(1)、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架(2)、万向滚轮(3)和直行滚轮(4)，所述万向滚轮(3)和所述直行滚轮(4)分别转动连接于所述推车框架(1)的底部两侧，所述多个陶瓷盘架(2)沿所述推车框架(1)的高度依次安装于所述推车框架(1)的内部，所述多个陶瓷盘架(2)与水平面成夹角θ倾斜设置，所述夹角θ的角度为10-20度。

2.如权利要求1所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述推车框架(1)由多根均沿所述碳化硅晶片抛光工艺转运用装置高度方向设置的纵向框材(110)、沿所述碳化硅晶片抛光工艺转运用装置的长度方向设置的多根第一横向框材和沿所述碳化硅晶片抛光工艺转运用装置的宽度方向设置多根第二横向框材共同围合而成。

3.如权利要求2所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述陶瓷盘架(2)包括塑料板和多个L型托架(210)，所述多个L型托架(210)分别倾斜固定在不同所述纵向框材(110)的同一高度处，所述塑料板依靠所述多个L型托架(210)的托举设置于所述推车框架(1)内。

4.如权利要求3所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述L型托架(210)包括互成角度的第一板件和第二板件，所述第一板件的板面与所述纵向框材(110)的框面固定连接，并与水平面成10-20度角倾斜设置，所述塑料板放置于所述第二板架的上端。

5.如权利要求1所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述碳化硅晶片抛光工艺转运用装置还包括用于防止陶瓷盘脱落的背挡(6)，所述背挡(6)固定于在所述推车框架(1)的所述直行滚轮(4)所在的一侧，所述多个陶瓷盘架(2)的靠近所述万向滚轮(3)的一侧高于靠近所述直行滚轮(4)的一侧。

6.如权利要求1所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述碳化硅晶片抛光工艺转运用装置还包括用于抓握所述推车框架(1)的把手，所述把手固定于所述推车框架(1)的所述万向滚轮所在的一侧。

7.如权利要求3所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述塑料板的靠近所述万向滚轮(3)的一侧设有便于取放陶瓷盘的豁口(100)。

8.如权利要求5所述的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于，

所述背挡(6)为沿所述推车框架(1)的高度方向设置在两根柱形管。