[实用新型]一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

说明书

本实用新型涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10‑20度。本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定的对各工序陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，操作方便，能有效保证生产效率和产品质量。

技术领域

本实用新型属于电子工业和半导体材料生产制造领域，特别涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

背景技术

以SiC为代表的第三代半导体大功率电力电子器件是目前在电力电子领域发展最快的功率半导体器件之一。碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，也是目前晶体生产技术和器件制造水平最成熟，应用最广泛的宽禁带半导体材料之一，目前已经形成了全球的材料、器件和应用产业链。是高温、高频、抗辐射、大功率应用场合下极为理想的半导体材料。

碳化硅晶片的加工涉及到切割、研磨、抛光、清洗等各个工序，每一个工序的加工质量都直接关系到后续器件产品的应用。其中在抛光段，需要在贴蜡车间把碳化硅晶片一片一片的贴在陶瓷盘上，然后将贴有晶片的陶瓷盘转运到抛光机上进行抛光，待一次抛光完成后还需要进入下一个车间进行下一步的化学机械抛光。在抛光的整个工序中，贴有晶片的陶瓷盘需要在不同的车间多次进行转运，通常陶瓷盘的转运有两种方式，一种是工人手工搬运，这种方式太浪费人力，而且效率也特别低，每次只能搬运一盘(陶瓷盘较重，每盘约10公斤)，另一种方式是用平板车拉运，这种方式陶瓷盘不能叠加，而且陶瓷盘在平板车上没有固定，很容易滑下来造成晶片碎裂。因此，在生产中如何高效的实现陶瓷盘的转运和暂存，成为技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为解决以上问题，本实用新型提供一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括推车框架、用于盛放陶瓷盘的多个陶瓷盘架、万向滚轮和直行滚轮，万向滚轮和直行滚轮分别转动连接于推车框架的底部两侧，多个陶瓷盘架沿推车框架的高度依次安装于推车框架的内部，多个陶瓷盘架与水平面成成夹角θ倾斜设置，夹角θ的角度为10-20度。

其中，推车框架由多根均沿碳化硅晶片抛光工艺转运用装置高度方向设置的纵向框材、沿碳化硅晶片抛光工艺转运用装置的长度方向设置的多根第一横向框材和沿碳化硅晶片抛光工艺转运用装置的宽度方向设置多根第二横向框材共同围合而成。

其中，陶瓷盘架包括塑料板和多个L型托架，多个L型托架分别倾斜固定在不同纵向框材的同一高度处，塑料板依靠多个L型托架的托举设置于推车框架内。

其中，L型托架包括互成角度的第一板件和第二板件，第一板件的板面与纵向框材的框面固定连接，并与水平面成10-20度角倾斜设置，塑料板放置于第二板架的上端。

其中，碳化硅晶片抛光工艺转运用装置还包括用于防止陶瓷盘脱落的背挡，背挡固定于在推车框架的直行滚轮所在的一侧，多个陶瓷盘架的靠近万向滚轮的一侧高于靠近直行滚轮的一侧。

其中，碳化硅晶片抛光工艺转运用装置还包括用于抓握推车框架的把手，把手固定于推车框架的万向滚轮所在的一侧。

其中，塑料板的靠近万向滚轮的一侧设有便于取放陶瓷盘的豁口。

其中，背挡为沿推车框架的高度方向设置在两根柱形管。

本实用新型的碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，可以高效稳定地对各工序中盛放碳化硅晶片的陶瓷盘进行转运，也可以用于临时存放陶瓷盘，非常方便工人操作使用，大大的节省了人力物力，有效的保证了生产效率和产品质量。

附图说明