[实用新型]等离子真空腔体设计结构

权利要求书

1.等离子真空腔体设计结构，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部上方开设有真空腔(3)，所述外壳(1)的内部下方开设有驱动腔(2)，所述驱动腔(2)的内底壁固定连接有小型气缸(4)，所述小型气缸(4)的外壁活动连接有定位垫(5)，所述小型气缸(4)的输出轴顶部固定连接有铰接块(6)，所述铰接块(6)的外壁铰接有第一铰接杆(9)，所述第一铰接杆(9)的外壁铰接有第一固定块(7)，所述第一铰接杆(9)的右端铰接有三角板(10)，所述三角板(10)的外壁铰接有竖杆(11)，所述竖杆(11)的底部铰接有背杆(12)，所述背杆(12)的左端铰接有第二固定块(8)，所述第二固定块(8)的外壁铰接有第二铰接杆(14)，所述背杆(12)的右端铰接有短杆(13)，所述短杆(13)的左端铰接有驱动杆(15)，所述驱动杆(15)的顶部固定连接有横板(16)，所述横板(16)的外壁活动连接有密封垫(17)，所述横板(16)的顶部固定连接有下托架(18)，所述下托架(18)的上方设置有上托架(19)，所述上托架(19)的顶部固定连接有弹簧(20)。

2.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述定位垫(5)填充在外壳(1)与小型气缸(4)之间的空隙中。

3.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述第一固定块(7)和第二固定块(8)均固定连接在外壳(1)上。

4.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述第二铰接杆(14)的右端铰接在三角板(10)的底部。

5.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述上托架(19)和下托架(18)均为防静电材质。

6.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述弹簧(20)固定连接在真空腔(3)的内顶壁上。

7.根据权利要求1所述的等离子真空腔体设计结构，其特征在于：所述真空腔(3)的内部沿竖直方向设置有若干层相互平行的电极板。