[实用新型]等离子真空腔体设计结构有效
申请号: | 201921917802.3 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN210790926U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 王晓东;马飞鹏 | 申请(专利权)人: | 天津双微电子科技有限公司 |
主分类号: | B25H3/02 | 分类号: | B25H3/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市滨海新区华苑产*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子 空腔 设计 结构 | ||
本实用新型涉及真空腔体的设计与制造技术领域,且公开了等离子真空腔体设计结构,包括外壳,所述外壳的内部设置有小型气缸,小型气缸运行带动第一铰接杆的右端翘起,第一铰接杆的右端翘起通过竖杆带动背杆同步翘起,第二铰接杆的右端与三角板的右端相铰接,使三角板的右端下降左端升起,三角板的左端升起带动驱动杆升起,短杆的铰接进一步的固定了驱动杆的位置,使驱动杆能够做竖直方向的上下运动,驱动杆上下运动通过横板带动下托架上升或者下降,夹紧或者松开产品,从而能够固定住不同形状产品的位置,本实用新型结构简单,生产容易,解决了等离子腔体无法满足不同形状产品处理的问题,具有适用于不同形状产品的优点。
技术领域
本实用新型涉及真空腔体的设计与制造技术领域,具体为等离子真空腔体设计结构。
背景技术
真空腔体顾名思义就是内部真空的腔体,一般用于储存和运输电子元件,传统的等离子真空腔体处理设备一般是针对材料设计成水平多层结构或者是竖直多层放置的板材,而固定的结构显然并不能够满足所有的电子元件的储存与运输,比如,如果需要处理的产品是长方体或者不规则形状的,那么无论哪一种结构的腔体,都不能够稳定的放置产品,在运输过程中非常容易产生晃动,从而对产品造成一定的影响,甚至会对产品造成损害,得不偿失,有时也会因为拉动而产生静电摩擦,形成碎屑从而造成二次伤害,无法保证产品的处理效果,一致性比较差,良率较低,因此,如何能够设计一种适用于不同形状的等离子真空腔体,成为了一项亟待解决的技术难题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了等离子真空腔体设计结构,具备适用于不同形状产品的优点,解决了等离子腔体无法满足不同形状产品处理的问题。
(二)技术方案
为实现上述适用于不同形状产品的目的,本实用新型提供如下技术方案:等离子真空腔体设计结构,包括外壳,所述外壳的内部上方开设有真空腔,所述外壳的内部下方开设有驱动腔,所述驱动腔的内底壁固定连接有小型气缸,所述小型气缸的外壁活动连接有定位垫,所述小型气缸的输出轴顶部固定连接有铰接块,所述铰接块的外壁铰接有第一铰接杆,所述第一铰接杆的外壁铰接有第一固定块,所述第一铰接杆的右端铰接有三角板,所述三角板的外壁铰接有竖杆,所述竖杆的底部铰接有背杆,所述背杆的左端铰接有第二固定块,所述第二固定块的外壁铰接有第二铰接杆,所述背杆的右端铰接有短杆,所述短杆的左端铰接有驱动杆,所述驱动杆的顶部固定连接有横板,所述横板的外壁活动连接有密封垫,所述横板的顶部固定连接有下托架,所述下托架的上方设置有上托架,所述上托架的顶部固定连接有弹簧。
优选的,所述定位垫填充在外壳与小型气缸之间的空隙中,稳定的固定住小型气缸的位置,防止小型气缸跟随外壳的晃动而晃动,从而能够使驱动装置更加的稳定。
优选的,所述第一固定块和第二固定块均固定连接在外壳上,通过固定住第一固定块和第二固定块的位置从而能够固定住第一铰接杆、背杆和第二铰接杆的位置,使驱动装置能够有效的运行。
优选的,所述第二铰接杆的右端铰接在三角板的底部,当横板下降时会带动三角板逐渐变成水平状态,第二铰接杆起到一定的限制作用,使三角板的变化更加的稳定,不会超过一定的限度。
优选的,所述上托架和下托架均为防静电材质,普通的托架有时会因为拉动产生静电摩擦,形成碎屑从而造成二次伤害,防静电材质的托架有效的避免了这种情况的发生。
优选的,所述弹簧固定连接在真空腔的内顶壁上,通过固定住弹簧的位置从而能够固定住上托架的位置,使上托架能够稳定的卡合在产品的上方,对产品进行保护。
优选的,所述真空腔的内部沿竖直方向设置有若干层相互平行的电极板,且相邻的两块电极板之间的极性相反,改变真空腔内部的电磁,进一步的保证了真空腔内部的真空性。
(三)有益效果
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