[实用新型]卷对卷等离子体腔体结构有效
申请号: | 201921917803.8 | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN210668270U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 王晓东;马飞鹏 | 申请(专利权)人: | 天津双微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市滨海新区华苑产*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 等离子 体腔 结构 | ||
1.卷对卷等离子体腔体结构,包括支撑脚(1),其特征在于:所述支撑脚(1)的顶部固定安装有底板(2),所述底板(2)的上表面开设有导轨槽(18),所述导轨槽(18)的内部滑动连接有导轨(3),两个所述导轨(3)的顶部固定安装有支撑板(4),所述支撑板(4)的顶部固定安装有箱体(5),所述箱体(5)的内部滑动安装有转轴(11),所述转轴(11)的外侧分别固定安装有主动轮(6)、进料辊(7)、张力辊(8)、除尘辊(9)、收卷辊(10)、浮动辊(13)与从动轮(19),所述支撑板(4)的内部开设有浮动槽(12),所述浮动槽(12)的内壁活动安装有齿条(17),所述齿条(17)的内侧分别啮合连接有浮动块(14)、第一齿轮(15)第二齿轮(25),所述第一齿轮(15)的外侧固定安装有第一手柄(16),所述箱体(5)的内壁固定安装有轴承套(20),所述轴承套(20)的内部螺纹连接有螺纹杆(21),所述螺纹杆(21)的顶部固定安装有第二手柄(22),所述螺纹杆(21)的底部固定安装有轴承盒(24),所述轴承盒(24)的两个固定安装有压板(23)。
2.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述箱体(5)的内侧表面开设有与轴承盒(24)相匹配的滑动槽。
3.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述轴承盒(24)的内部开设有与螺纹杆(21)相匹配的螺纹槽,且轴承盒(24)的内部活动连接有限位块。
4.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述主动轮(6)、进料辊(7)、张力辊(8)、除尘辊(9)、收卷辊(10)、浮动辊(13)与从动轮(19)的形状大小均一致。
5.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述压板(23)的长度与进料辊(7)的直径相等。
6.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述导轨槽(18)的形状呈现T字形。
7.根据权利要求1所述的卷对卷等离子体腔体结构,其特征在于:所述浮动槽(12)的宽度是浮动块(14)宽度的两倍。
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