[实用新型]一种振镜头精度检测装置

权利要求书

1.一种振镜头精度检测装置，其特征在于，包括激光器、第一调节组件、第二调节组件和设有接收口的光斑分析仪；待检测的振镜头安装在所述第一调节组件上，通过所述第一调节组件将所述振镜头的入射口调节至与所述激光器发射的激光垂直且对齐；所述光斑分析仪安装在所述第二调节组件上，通过所述第二调节组件将所述光斑分析仪的接收口调节至与所述振镜头反射的激光垂直且对齐；所述激光器发射的激光自所述振镜头的入射口垂直射入，并经所述振镜头反射之后垂直射入所述光斑分析仪的接收口。

2.根据权利要求1所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述振镜头精度检测装置还包括底板，所述第一调节组件、所述激光器以及所述第二调节组件均安装在所述底板上。

3.根据权利要求2所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述第一调节组件包括转接板、调节板以及连接在所述调节板与所述底板之间的调节件；所述转接板连接在所述调节板上，所述振镜头固定连接在所述转接板上。

4.根据权利要求3所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述转接板上设有光孔，安装在所述转接板上的所述振镜头的入射口与所述光孔同轴设置。

5.根据权利要求3所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述调节件为与所述调节板以及所述底板均螺纹连接的调节顶丝。

6.根据权利要求5所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述调节顶丝的螺距为0.5mm；所述激光器发射的激光的波长为488nm。

7.根据权利要求2所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述底板上还设有把手。

8.根据权利要求2所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述第二调节组件包括平移组件和旋转组件，所述平移组件安装在所述底板上，所述旋转组件连接在所述平移组件上，所述光斑分析仪安装在所述旋转组件上。

9.根据权利要求8所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述平移组件包括第一平移板、立柱、第二平移板和第三平移板，所述第一平移板与所述底板滑动连接以调节所述光斑分析仪的Y轴方向上的位移，所述立柱连接在所述第一平移板上；所述第二平移板与所述立柱滑动连接以调节所述光斑分析仪的Z轴方向上的位移；所述第三平移板与所述第二平移板滑动连接以调节所述光斑分析仪的X轴方向上的位移。

10.根据权利要求9所述的振镜头精度检测装置，其特征在于，所述旋转组件包括第一旋转板、第二旋转板和第三旋转板，所述第一旋转板转动连接在所述第三平移板上以调节所述光斑分析仪绕X轴的旋转角度；所述第二旋转板与所述第一旋转板转动连接以调节所述光斑分析仪绕Y轴的旋转角度；所述第三旋转板与所述第二旋转板转动连接以调节所述光斑分析仪绕Z轴的旋转角度。