[实用新型]一种振镜头精度检测装置

说明书

本实用新型属于激光外光路元件检测技术领域，特别是涉及一种振镜头精度检测装置。该振镜头精度检测装置包括激光器、第一调节组件、第二调节组件和设有接收口的光斑分析仪；待检测的振镜头安装在所述第一调节组件上，通过所述第一调节组件将所述振镜头的入射口调节至与所述激光器发射的激光垂直且对齐；所述光斑分析仪安装在所述第二调节组件上，通过所述第二调节组件将所述光斑分析仪的接收口调节至与所述振镜头反射的激光垂直且对齐；所述激光器发射的激光自所述振镜头的入射口垂直射入，并经所述振镜头反射之后垂直射入所述光斑分析仪的接收口。本实用新型可实现自动检测振镜头的精度，且检测精度高。

技术领域

本实用新型属于激光外光路元件检测技术领域，特别是涉及一种振镜头精度检测装置。

背景技术

目前，在激光加工应用行业，激光的加工精度一方面由激光器决定，另一方面又与振镜头的扫描精度存在很大关系。而振镜头在长时间使用后，会存在温漂和零点漂移，这些因素都会影响振镜头的精度，进而影响激光加工的精度，因此，准确测量振镜头的精度是激光加工过程中的一个重要环节。在现有技术中，通常采用静态测试方法检测振镜头的精度，即将振镜头安装在高频率的震动平台上振动一段时间后，取下来放在显微镜下通过人眼对焦的方式进行性能检测，该方案的不足之处在于：静态振镜头检测装置需要人眼对焦测量，导致检测过程不便，且该检测过程对于检测人员的检测经验有很高要求，同时，人工检测还会存在检测精度低的问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术中对于振镜头的精度的检测需要人眼对焦测量且检测精度低的问题，提供了一种振镜头精度检测装置。

鉴于以上问题，本实用新型实施例提供的振镜头精度检测装置，包括激光器、第一调节组件、第二调节组件和设有接收口的光斑分析仪；待检测的振镜头安装在所述第一调节组件上，通过所述第一调节组件将所述振镜头的入射口调节至与所述激光器发射的激光垂直且对齐；所述光斑分析仪安装在所述第二调节组件上，通过所述第二调节组件将所述光斑分析仪的接收口调节至与所述振镜头反射的激光垂直且对齐；所述激光器发射的激光自所述振镜头的入射口垂直射入，并经所述振镜头反射之后垂直射入所述光斑分析仪的接收口。

可选地，所述振镜头精度检测装置还包括底板，所述第一调节组件、所述激光器以及所述第二调节组件均安装在所述底板上。

可选地，所述第一调节组件包括转接板、调节板以及连接在所述调节板与所述底板之间的调节件；所述转接板连接在所述调节板上，所述振镜头固定连接在所述转接板上。

可选地，安装在所述转接板上的所述振镜头的入射口与所述光孔同轴设置。

可选地，所述调节件为与所述调节板以及所述底板均螺纹连接的调节顶丝。

可选地，所述调节顶丝的螺距为0.5mm；所述激光器发射的激光的波长为488nm。

可选地，所述底板上还设有把手。

可选地，所述第二调节组件包括平移组件和旋转组件，所述平移组件安装在所述底板上，所述旋转组件连接在所述平移组件上，所述光斑分析仪安装在所述旋转组件上。

可选地，所述平移组件包括第一平移板、立柱、第二平移板和第三平移板，所述第一平移板与所述底板滑动连接以调节所述光斑分析仪的Y轴方向上的位移，所述立柱连接在所述第一平移板上；所述第二平移板与所述立柱滑动连接以调节所述光斑分析仪的Z轴方向上的位移；所述第三平移板与所述第二平移板滑动连接以调节所述光斑分析仪的X轴方向上的位移。

可选地，所述旋转组件包括第一旋转板、第二旋转板和第三旋转板，所述第一旋转板转动连接在所述第三平移板上以调节所述光斑分析仪绕X轴的旋转角度；所述第二旋转板与所述第一旋转板转动连接以调节所述光斑分析仪绕Y轴的旋转角度；所述第三旋转板与所述第二旋转板转动连接以调节所述光斑分析仪绕Z轴的旋转角度。