[实用新型]悬吊式储存匣置放设备及其承载框架

权利要求书

1.一种悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述悬吊式储存匣置放设备用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：

一承载框架，包含有：

多个直立杆，其顶端部用来对应所述天花板安装、并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；

一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；及

多个斜向支撑杆，下端部分别安装于多个所述直立杆，多个所述斜向支撑杆的上端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角；

一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：

多个气嘴，设置于所述底座；及

多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，而每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及

一电控模块，设置于所述承载框架上，所述电控模块包含有多个监控组件及相连于至少一个所述监控组件的多个气流接头；其中，多条所述气流接头连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

2.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述承载框架包含有分别固定于多个所述直立杆的多个调整结构，并且每个所述斜向支撑杆的所述下端部通过枢接于一个所述调整结构而安装于相对应的所述直立杆。

3.如权利要求2所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，每个所述调整结构包含有一限位件及一枢接件；在每个所述调整结构中，所述限位件与所述枢接件彼此固定而夹迫于相对应的所述直立杆，而所述枢接件枢接于相对应的所述斜向支撑杆的所述下端部。

4.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述底座包含有：

多个底横杆，相连于多个所述直立杆的所述底端部，以共同围绕成环形；

一底盘，安装于多个所述底横杆；及

一承载盘，安装于所述多个所述底横杆且与所述底盘间隔有一距离，并且所述承载盘用来供所述晶圆盒进行置放；

其中，多个所述气嘴位于所述底盘与所述承载盘之间，且每个所述气嘴的局部裸露于所述承载盘之外，每条所述气流管路沿经所述底盘与所述承载盘之间的空间连接至相对应的所述气嘴。

5.如权利要求4所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，多个所述气嘴区分为多个第一气嘴与多个第二气嘴，多条所述气流管路区分为连接于多个所述第一气嘴的多条第一气流管路以及连接于多个所述第二气嘴的多条第二气流管路；其中，多个所述第一气嘴与多个所述第二气嘴用来连接不同类型的两种晶圆盒。

6.如权利要求5所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，多条所述第一气流管路的其中一条以及多条所述第二气流管路的其中一条沿着至少一个所述第二直立杆延伸至所述天花板。

7.如权利要求6所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，至少一个所述第二直立杆沿长度方向形成有一沟槽，并且延伸至所述天花板的所述第一气流管路与所述第二气流管路沿着至少一个所述第二直立杆的所述沟槽。

8.如权利要求1所述的悬吊式储存匣置放设备，其特征在于，所述电控模块包含有一箱体，可拆解地固定于所述底座及两个所述第一直立杆；多个所述监控组件设置于所述箱体内；多条所述气流接头皆至少局部穿出所述箱体、并可拆解地连接于多条所述气流管路的所述组接端部；所述承载框架包含有多个预定位件，用来独立可拆解地固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道相反两侧的一预定位置上；多个所述直立杆的所述顶端部分别可拆解地固定于多个所述预定位件，以用来对应所述天花板安装。