[实用新型]悬吊式储存匣置放设备及其承载框架

说明书

本实用新型公开一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架，所述承载框架包括多个直立杆、底座及多个斜向支撑杆。多个直立杆顶端部用来固定于天花板并分别位于运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆。所述底座安装于多个所述直立杆的底端部、并用来供所述运输轨道传送的晶圆盒进行置放。多个斜向支撑杆的下端部分别固定于多个所述直立杆，而多个所述斜向支撑杆的上端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧。每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角。据此，每个直立杆于顶端部与限位横杆之间的部位通过斜向支撑杆进一步支撑与防震，以提升承载框架的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种悬吊式置放设备，特别是一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架。

背景技术

现有悬吊式储存匣置放设备的承载框架包含有安装于天花板的多个直立杆，上述每个直立杆呈长条状且仅以其末端固定于天花板，所以每个直立杆的末端在遇到外力时，必须要能够承受极大的扭力。换个角度来说，当遇到晶圆盒运行通过上述承载框架时，所述承载框架容易受到晶圆盒运行的震动影响，而产生不稳定的形况(如：晃动)。

实用新型内容

本实用新型实施例在于提供一种悬吊式储存匣置放设备及其承载框架，其能有效地改善现有悬吊式储存匣置放设备及其承载框架所可能产生的缺陷。

本实用新型实施例公开一种悬吊式储存匣置放设备，用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备包括：一承载框架，包含有：多个直立杆，顶端部用来对应所述天花板安装、并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；及多个斜向支撑杆，下端部分别安装于多个所述直立杆，多个所述斜向支撑杆的上端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角；一喷气模块，安装于所述承载框架，并包含有：多个气嘴，设置于所述底座；及多条气流管路，分别连接于多个所述气嘴，多条所述气流管路的一端邻近于两个所述第一直立杆并且各定义为一组接端部，而每条所述气流管路的另一端用来连接至一气流供应装置；以及一电控模块，设置于所述承载框架上，所述电控模块包含有多个监控组件及相连于至少一个所述监控组件的多个气流接头；其中，多条所述气流接头连接于多条所述气流管路的所述组接端部。

本实用新型实施例也公开一种悬吊式储存匣置放设备的承载框架，用来悬吊于铺设有一运输轨道的一天花板，所述悬吊式储存匣置放设备的承载框架包括：多个直立杆，顶端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧，区分为两个第一直立杆与至少一个第二直立杆；一底座，安装于多个所述直立杆的底端部，并且所述底座用来供所述运输轨道传送的一晶圆盒进行置放；以及多个斜向支撑杆，下端部分别固定于多个所述直立杆，多个所述斜向支撑杆的上端部用来固定于所述天花板并分别位于所述运输轨道的相反两侧；其中，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角。

综上所述，本实用新型实施例所公开的悬吊式储存匣置放设备及其承载框架，其每个所述直立杆于顶端部与限位横杆之间的部位可以通过所述斜向支撑杆来达到进一步支撑与防震的效果，据以提升所述承载框架的稳定性。再者，每个所述斜向支撑杆与相对应的所述直立杆相夹有介于15度～80度的一可调式夹角，据以通过上述可调式夹角而使所述斜向支撑杆能够适用于各式天花板、且以合适的角度支撑相对应的直立杆。

为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而所提供的附图仅用于提供参考与说明，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为本实用新型实施例的悬吊式储存匣置放设备悬吊于天花板的立体示意图。

图2为图1另一视角的立体示意图。