[实用新型]一种硅片清洗机换料装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机换料装置，包括底箱(1)，其特征在于，所述底箱(1)的顶部外壁设置有上筒(6)，且上筒(6)的内部设置有倒片机构，所述底箱(1)的一侧外壁开有进料槽(11)，且进料槽(11)的一侧外壁设置有进料机构，底箱(1)的另一侧外壁开有出料槽(17)，出料槽(17)的一侧外壁设置有出料机构，底箱(1)的内部设置有换片机构。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述倒片机构包括设置于上筒(6)一侧外壁的电机(5)，且电机(5)的输出轴固定连接有插接于上筒(6)侧面内壁的转壳(8)，转壳(8)的侧面内壁滑动连接有清洗篮(9)，转壳(8)位于清洗篮(9)上方的侧面内壁滑动连接有与清洗篮(9)相对应的卸料块(7)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述换片机构包括设置于底箱(1)底部内壁的气杆(16)，且气杆(16)的顶部外壁设置有移动块(18)，移动块(18)的顶部外壁开有与卸料块(7)相适配的弧形槽。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述进料机构包括设置于底箱(1)一侧外壁的进料架(14)，且进料架(14)的底部外壁设置有前支撑腿(15)，进料架(14)的顶部外壁放置有上料块(13)，上料块(13)与卸料块(7)结构相同，上料块(13)和卸料块(7)的侧面外壁均设置有限位板(12)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述出料机构包括设置于底箱(1)一侧外壁的出料架(3)，且出料架(3)的底部外壁设置有后支撑腿(2)。

6.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述移动块(18)的顶部外壁开有定位块槽，且定位块槽的底部内壁设置有弹簧(20)，弹簧(20)的顶部外壁设置有定位块(19)，卸料块(7)和上料块(13)的底部外壁均开有与定位块(19)相适配的定位块槽。

7.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机换料装置，其特征在于，所述转壳(8)的一侧外壁开有插销槽(4)，且插销槽(4)的侧面内壁滑动连接有插销(10)。