[实用新型]一种晶圆夹持件

权利要求书

1.一种晶圆夹持件，其特征在于，包括板体，所述板体上设有多个安装孔，板体的上端部设置有齿沟结构，齿沟结构由多个连续的齿构成，每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖，所述齿背倾斜设置，所述齿前包括第一段、垂直连接在第一段下端的第二段、以及连接在第二段下端的第三段，所述第一段和第三段均朝向与前一齿的齿背相背离的方向倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述板体的一侧面的底部设置有槽口。

3.根据权利要求2所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述槽口为矩形槽口。

4.根据权利要求1所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述第一段的倾斜角度大于第三段的倾斜角度。

5.根据权利要求4所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述第三段与前一齿的齿背之间的夹角为54°。

6.根据权利要求1所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述板体采用耐化学性材料或合金材料或非金属材料一体制造而成。

7.根据权利要求6所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述耐化学性材料为铁氟龙、聚偏二氟乙烯、聚醚醚酮、聚氯乙烯、聚丙烯、聚甲醛或聚砜中的任一种；

所述合金材料为不锈钢、铝合金、钛合金或钨合金中的任一种；

所述非金属材料为石英。

8.根据权利要求1所述的晶圆夹持件，其特征在于，所述安装孔为腰形孔。