[实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机用硅片清洗装置，包括清洗机箱(2)，其特征在于，所述清洗机箱(2)的顶部开设有水平设置的清洗凹槽(3)，所述清洗机箱(2)的顶部两端均开设有第一孔洞，且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆(9)，两个所述电动推杆(9)的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块(8)，两个所述固定顶块(8)相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱(6)，两个所述连接柱(6)的一端均通过轴承套接有竖直设置的固定侧板(5)，两个所述固定侧板(5)的底部之间通过螺栓连接有同一个水平设置的固定底板(4)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的底部两端均通过螺栓连接有两个移动车轮(1)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述固定底板(4)的顶部通过螺栓连接有竖直设置的限位挡板(7)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的一侧底部通过螺栓连接有水平设置的超声波机箱(10)，且超声波机箱(10)的底部内壁安装有超声波发生器。

5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的两侧内壁均通过螺栓连接有竖直设置的超声波换能器(11)，且超声波换能器(11)与超声波发生器相连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗机箱(2)的顶部一侧通过螺栓连接有竖直设置的冷风机箱(13)，且冷风机箱(13)的一侧内壁通过螺栓连接有冷风机。

7.根据权利要求6所述的一种硅片清洗机用硅片清洗装置，其特征在于，所述冷风机箱(13)的一侧开设有第一孔洞，且第一孔洞通过螺栓连接有竖直设置的除尘网板(12)。