[实用新型]一种硅片清洗机用硅片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921925772.0 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN210847462U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 孙芳良 申请(专利权)人: 苏州高新区鼎正精密机电有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;B01D46/10;H01L21/67
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地址: 215151 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 清洗 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅片清洗机用硅片清洗装置,包括清洗机箱,所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽,所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞,且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆,两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块,两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱。本实用新型中,在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆,电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接,可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降,方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。

技术领域

本实用新型涉及硅片处理技术领域,尤其涉及一种硅片清洗机用硅片清洗装置。

背景技术

地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力。

在硅片的制作过程中,首先进行单质硅的提炼,提炼后的单质硅被制作成硅片,在硅片被生产出来后,需要进行硅片的清洗,方便后续的应用,但是现在的硅片清洗是将硅片放置在清洗的机箱内部,这样来回从机箱的内部取出硅片,使得清洗的效率十分的低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种硅片清洗机用硅片清洗装置,包括清洗机箱,所述清洗机箱的顶部开设有水平设置的清洗凹槽,所述清洗机箱的顶部两端均开设有第一孔洞,且两个第一孔洞的圆周内壁均套接有竖直设置的电动推杆,两个所述电动推杆的顶部均通过螺栓连接有竖直设置的固定顶块,两个所述固定顶块相靠近的一端均通过螺栓连接有水平设置的连接柱,两个所述连接柱的一端均通过轴承套接有竖直设置的固定侧板,两个所述固定侧板的底部之间通过螺栓连接有同一个水平设置的固定底板。

优选的,所述清洗机箱的底部两端均通过螺栓连接有两个移动车轮。

优选的,所述固定底板的顶部通过螺栓连接有竖直设置的限位挡板。

优选的,所述清洗机箱的一侧底部通过螺栓连接有水平设置的超声波机箱,且超声波机箱的底部内壁安装有超声波发生器。

优选的,所述清洗机箱的两侧内壁均通过螺栓连接有竖直设置的超声波换能器,且超声波换能器与超声波发生器相连接。

优选的,所述清洗机箱的顶部一侧通过螺栓连接有竖直设置的冷风机箱,且冷风机箱的一侧内壁通过螺栓连接有冷风机。

优选的,所述冷风机箱的一侧开设有第一孔洞,且第一孔洞通过螺栓连接有竖直设置的除尘网板。

本实用新型的有益效果为:

1、该硅片清洗机用硅片清洗装置,在清洗装置的清洗机箱的顶部开设孔洞并安装有电动推杆,电动推杆的顶部之间的固定顶块与连接柱整体通过轴承与固定侧板以及固定底板相连接,可以通过电动推杆控制固定底板的上升与下降,方便操作人员对于硅片的固定清洗以及取出。

2、该硅片清洗机用硅片清洗装置,在清洗装置的清洗机箱的顶部一侧安装有竖直设置的冷风机箱,可以在硅片清洗完成后将硅片进行冷风吹干,有效的提高硅片清洗的效率。

3、该硅片清洗机用硅片清洗装置,清洗装置的清洗机箱两侧内壁安装有超声波换能器,可以对硅片清洗进行超声波清洗,区别于机械清洗,更加有效的保护硅片的完整性,也提高硅片的清洗效率与清洗的质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片清洗机用硅片清洗装置的整体结构示意图;

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