[实用新型]一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置

权利要求书

1.一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架，其特征在于：所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框，所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。

2.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架为U型结构，所述定位托框为矩形，所述定位托框的四角分布有定位支撑脚。

3.根据权利要求1或2所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架上分布有两个定位托框。

4.根据权利要求2所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述定位支撑脚上具有传感器。

5.根据权利要求3所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述托篮托架的两侧边下方分别连接有从固定端延伸至自由端的侧部加强筋，所述托篮托架的固定端侧边连接有端部加强板。

6.根据权利要求5所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述端部加强板为梯形板。

7.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直负载驱动机构为气缸驱动机构或单轴机器人。

8.根据权利要求1所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直负载驱动机构具有垂直滑轨以及在所述垂直滑轨的滑块，所述滑块通过支撑连接架支撑连接所述托篮托架。

9.根据权利要求8所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述垂直滑轨的背面的顶部和底部分布具有安装板。

10.根据权利要求9所述的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置，其特征在于：所述安装板由背部平板、固定在所述背部平板背面的一根限位横档和两根加强竖档构成，所述背部平板的一端分布安装螺栓孔，所述限位横档固定在所述安装螺栓孔的内侧以形成所述安装板的限位连接头，两根所述加强竖档分别固定在背部平板的侧边缘位置。