[实用新型]一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置有效
申请号: | 201921939655.X | 申请日: | 2019-11-08 |
公开(公告)号: | CN211320068U | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 徐铭;庄海云;李志峰;王雪松 | 申请(专利权)人: | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人: | 张坚 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 垂直 传送 晶圆托篮 传递 运输 装置 | ||
本实用新型公开了一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置,包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架,所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框,所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。本实用新型的晶圆托篮传递运输装置具有一次垂直承载运输多个晶圆托篮的优点,提高了垂直传送晶圆托篮的效率。
技术领域
本实用新型属于半导体制造设备技术领域,尤其涉及一种垂直传送的晶圆托篮的传递运输装置。
背景技术
在半导体的工艺设备中,以湿法工艺设备为例,常需要一垂直升降的传送运输装置用以传递空的晶圆托篮载体或是装载晶圆片的托篮载体,而该现有技术的传递托篮的传递运输装置在常规中的配置多以一次传递单个托篮进行垂直升降的传送,而单次传送只能传送一个托篮的机制造成工艺设备中在进行晶圆转移交换托篮的过程所耗费的时间较多,即现有技术的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置的传送效率比较低,提高垂直传送的晶圆托篮传递运输装置的传送效率成为亟待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高传送效率的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置,以克服现有技术存在的不足。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种垂直传送的晶圆托篮传递运输装置,包括垂直负载驱动机构以及安装在垂直负载驱动机构上的水平放置的托篮托架,其特征在于:所述托篮托架沿长度方向分布有至少两个内部中空的定位托框,所述托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道。
采用上述结构,托篮托架上分布有至少两个内部中空的定位托框,并且要求托篮托架的自由端侧边以及相邻定位托框之间均具有容托篮经过的开口通道,这样多个并排的晶圆托篮可以从托篮托架的自由端侧边进入托篮托架内并分别最终被各个定位托框定位托住,从而能够一次传送多个晶圆托篮,从而提高了托篮传送的效率。
在本实用新型的具体实施方式中,所述托篮托架为U型结构,所述定位托框为矩形,所述定位托框的四角分布有定位支撑脚。
在本实用新型的具体实施方式中,所述托篮托架上分布有两个定位托框。
在本实用新型的具体实施方式中,所述定位支撑脚上具有接触传感器。由于定位支撑脚上具有传感器,这样就可以通过计算机实时侦测定位托框上是否有晶圆托篮。
在本实用新型的具体实施方式中,为提高托篮托架的稳固性,所述托篮托架的两侧边下方分别连接有从固定端延伸至自由端的侧部加强筋,所述托篮托架的固定端侧边连接有端部加强板。所述端部加强板为梯形板,具有指示托篮托架安装方向的作用。
在本发明中,所述垂直负载驱动机构可以是气缸驱动机构,也可以是单轴机器人。
采用上述技术方案,本发明具有一次垂直承载运输多个晶圆托篮的优点,提高了垂直传送晶圆托篮的效率。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明:
图1为本实用新型的立体结构示意图;
图2为本实用新型的承载有晶圆托篮的托篮托架示意图;
图3为本实用新型的顶部安装板的结构示意图;
图4为本实用新型的底部安装板的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型的垂直传送的晶圆托篮传递运输装置,包括垂直负载驱动机构100、支撑连接架200以及托篮托架300。
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