[实用新型]一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管有效
| 申请号： | 201921948659.4 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN210378965U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 薛芳峰;吴方军;乔德定;严建华;喻建华;余秋根 | 申请（专利权）人： | 德兴市意发功率半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/05;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙) 36133 | 代理人： | 陈志辉 |
| 地址： | 334000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冲击 离子 注入 质量 分析器 前端 传输 | ||
1.一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，包括外弯管（1）和内弯管（2），其特征在于：
所述外弯管（1）上端口的外沿铸有第一凸缘（101），所述第一凸缘（101）的上端面同轴开设有嵌入槽（102），所述嵌入槽（102）的侧壁径向开设有四个插槽（103）；
所述内弯管（2）从所述外弯管（1）的上端口插入至所述外弯管（1）的内部，所述内弯管（2）上端口的外沿铸有第二凸缘（201），所述第二凸缘（201）的侧壁径向开设有四个滑槽（203），所述滑槽（203）的上壁开设有与所述第二凸缘（201）的上端面相贯通的开口，每个所述滑槽（203）的内部均滑动设置有插块（202），所述插块（202）呈“L”型，其一端伸入至所述滑槽（203）的内部并与所述滑槽（203）的内壁贴合，另一端从所述滑槽（203）上壁的开口中伸出。
2.根据权利要求1所述的一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，其特征在于：所述外弯管（1）的内部结构与所述内弯管（2）的形状尺寸完全适配，当所述内弯管（2）完全插入所述外弯管（1）的内部时，所述外弯管（1）与所述内弯管（2）的上下两端口均齐平。
3.根据权利要求1所述的一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，其特征在于：所述第二凸缘（201）与所述嵌入槽（102）的形状尺寸完全适配。
4.根据权利要求1所述的一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，其特征在于：所述滑槽（203）与所述插槽（103）的尺寸相等，且当所述内弯管（2）完全插入所述外弯管（1）的内部时，四个所述滑槽（203）与四个所述插槽（103）的位置相对应。
5.根据权利要求1所述的一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管，其特征在于：所述外弯管（1）和所述内弯管（2）均为耐热不锈钢材质。
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