[实用新型]轮档架构

权利要求书

1.一种轮档架构，用于光刻机的线排，其特征在于，包括：

主体，其为自锁框架结构，所述自锁框架结构供所述线排穿过，所述自锁框架结构长度和宽度可调节，所述自锁框架结构能将所述线排固定；

移动支撑部，其固定连接在所述自锁框架结构底部，其高度可调节；

线排固定结构，其设置在所述自锁框架结构的内侧，其插入线排的线间凹部相配合使线排被固定在自锁框架结构内。

2.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于，还包括：

固定结构，其固定在自锁框架结构的两侧面和或顶面，其适用于将轮档架构固定在旁侧的设备上。

3.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于，还包括：

提示涂层，其涂覆在自锁框架结构外侧壁上，其采用荧光材料形成自发光涂层。

4.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于：构成所述自锁框架结构的各边框结构相同，该每一条边框结构包括：

容置结构，其为中空结构，其一侧壁上设有多个凹部；

插入结构，其上设有多个凸部，其能插入所述容置结构，所述凸部与凹部相配合形成卡固。

5.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于，所述移动支撑部包括：

万向滚轮，其固定在高度调节件下方；

高度调节件，其上方固定连接所述自锁框架结构，其适用于调整高度。

6.如权利要求4所述的轮档架构，其特征在于：所述线排固定结构是布置在容置结构面向线排一侧内壁上的多个凸起，所述凸起之间的距离大于等于线排种最小的线宽。

7.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于：所述固定结构是固定设置在自锁框架结构的吸盘、卡扣或挂钩。

8.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于：所述固定结构是固定设置黏胶层。

9.如权利要求1所述的轮档架构，其特征在于：所述轮档架构采用绝缘防水材料制造。