[实用新型]一种PVD薄膜设备加热装置

权利要求书

1.一种PVD薄膜设备加热装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)内设置有中空槽，所述底座(1)一侧设置有开口，所述开口与所述中空槽连接，所述开口上设置有加热器(2)，所述加热器(2)与所述开口连接处设置有密封隔热板，所述中空槽内设置有加热管(3)，所述加热管(3)均匀排列在所述中空槽内，所述加热管(3)与所述加热器(2)连接，所述加热管(3)与所述中空槽内壁固定连接，所述底座(1)内设置有内环绕槽和外环绕槽，所述内环绕槽位于所述底座(1)与所述中空槽之间，所述内环绕槽内设置有均热层(4)，所述均热层(4)的外表面与所述内环绕槽的内壁固定连接，所述外环绕槽位于所述底座(1)与所述内环绕槽之间，所述内环绕槽内设置有导热板(5)，所述导热板(5)的外表面与所述内环绕槽的内壁固定连接；

所述底座(1)底面四角边缘处均设置有卡接槽，四角所述卡接槽上均设置有支撑杆(6)，四角所述支撑杆(6)底面设置有支撑座(7)，四角所述支撑杆(6)与所述支撑座(7)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜设备加热装置，其特征在于：所述开口宽度、高度均与所述中空槽的、宽度、高度相一致。

3.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜设备加热装置，其特征在于：所述导热板(5)上设置有散热孔，所述散热孔设置有多个，多个所述散热孔均匀排列在所述导热板(5)上。

4.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜设备加热装置，其特征在于：四角所述支撑杆(6)均与相对应的所述卡接槽螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜设备加热装置，其特征在于：四角所述支撑杆(6)和所述支撑座(7)材质均为绝热材料。

6.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜设备加热装置，其特征在于：所述支撑座(7)顶面设置有测温仪(8)，所述测温仪(8)的检测头与所述支撑座(7)连接，所述测温仪(8)的显示屏上设置有防护壳。