[实用新型]一种PVD薄膜设备加热装置

说明书

本实用新型公开了一种PVD薄膜设备加热装置，包括底座，底座内设置有中空槽，底座一侧设置有开口，开口与中空槽连接，开口上设置有加热器，加热器与开口连接处设置有密封隔热板，中空槽内设置有加热管，加热管均匀排列在中空槽内，加热管与加热器连接，加热管与中空槽内壁固定连接，底座内设置有内环绕槽和外环绕槽，内环绕槽位于底座与中空槽之间，内环绕槽内设置有均热层，外环绕槽位于底座与内环绕槽之间，内环绕槽内设置有导热板，底座底面四角边缘处均设置有卡接槽，四角卡接槽上均设置有支撑杆，四角支撑杆底面设置有支撑座。本实用新型具有温度均衡，加热效果好，方便移动的有益效果，其主要用于进行加热。

技术领域

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，具体的说是一种PVD薄膜设备加热装置。

背景技术

在薄膜制备过程中都需要用到加热装置，但现有的加热装置在进行工作时，加热装置表面的温度不均衡，从而会影响薄膜的制作，影响薄膜制造出来的成品，在实际运用中存在一定缺陷。

实用新型内容

针对现有技术中存在的上述不足之处，本实用新型目的是提供一种温度均衡，加热效果好，方便移动的PVD薄膜设备加热装置。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：一种PVD薄膜设备加热装置，包括底座，所述底座内设置有中空槽，所述底座一侧设置有开口，所述开口与所述中空槽连接，所述开口上设置有加热器，所述加热器与所述开口连接处设置有密封隔热板，所述中空槽内设置有加热管，所述加热管均匀排列在所述中空槽内，所述加热管与所述加热器连接，所述加热管与所述中空槽内壁固定连接，所述底座内设置有内环绕槽和外环绕槽，所述内环绕槽位于所述底座与所述中空槽之间，所述内环绕槽内设置有均热层，所述均热层的外表面与所述内环绕槽的内壁固定连接，所述外环绕槽位于所述底座与所述内环绕槽之间，所述内环绕槽内设置有导热板，所述导热板的外表面与所述内环绕槽的内壁固定连接；

所述底座底面四角边缘处均设置有卡接槽，四角所述卡接槽上均设置有支撑杆，四角所述支撑杆底面设置有支撑座，四角所述支撑杆与所述支撑座固定连接。

所述开口宽度、高度均与所述中空槽的、宽度、高度相一致。

所述导热板上设置有散热孔，所述散热孔设置有多个，多个所述散热孔均匀排列在所述导热板上。

四角所述支撑杆均与相对应的所述卡接槽螺纹连接。

四角所述支撑杆和所述支撑座材质均为绝热材料。

所述支撑座顶面设置有测温仪，所述测温仪的检测头与所述支撑座连接，所述测温仪的显示屏上设置有防护壳。

本实用新型的有益效果：温度均衡，加热效果好，当加热器进行工作时，会将热量传导至加热管，加热管进行加热，并将热量传导至内环绕槽内的均热层，均热层能够将热量均衡并传导，均热后的热量会传导至外环绕槽内的导热板上，之后再由导热板将热量传导至底座外表面，从而能够使底座外表面温度均衡；方便移动，需要进行移动时，可通过移动支撑座进行装置移动，并能够通过测温仪判断是否能够移动，可以防止烫伤手指的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型结构剖视图。

图中：1底座、2加热器、3加热管、4均热层、5导热板、6支撑杆、7支撑座、8测温仪。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。