[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型支撑柜有效

专利信息
申请号: 201921974569.2 申请日: 2019-11-14
公开(公告)号: CN211227297U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 李小平;吴杰 申请(专利权)人: 北京物科国华技术有限公司
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100089 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 真空镀膜 新型 支撑
【权利要求书】:

1.一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23),侧板(24)上端与支撑板(21)的外壁抵接,侧板(24)的下端与底板(22)外壁抵接,侧板(24)与角立柱(23)可拆卸连接,侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置若干个卡接块(241),卡接块(241)沿侧板(24)的高度方向均匀布设,角立柱(23)上开设有与卡接块(241)配合卡接的卡接槽(231)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述卡接块(241)上设置有穿过卡接块(241)与卡接槽(231)螺纹连接的螺栓(242)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:若干个所述侧板(24)上开设有散热孔(244),侧板(24)上设置有用于调节散热孔(244)遮挡面积的遮挡板(3)。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述遮挡板(3)与侧板(24)滑移连接,侧板(24)上水平开设有一对滑槽(245),遮挡板(3)上设置有与滑槽(245)配合滑移的滑块(31)。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述滑块(31)截面为T型。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)与支撑板(21)可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)朝向支撑板(21)的一侧设置有卡块(232),支撑板(21)上设置有与卡块(232)配合卡接的卡槽(211)。

8.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜机的新型支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)背离支撑板(21)的一端与底板(22)铰接,底板(22)上开设有用于容纳角立柱(23)的容纳槽(221)。

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