[实用新型]一种用于真空镀膜机的新型支撑柜

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其技术方案要点是：包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的外壁抵接，侧板的下端与底板外壁抵接，侧板与角立柱可拆卸连接，侧板朝向角立柱的一侧设置若干个卡接块，卡接块沿侧板的高度方向均匀布设，角立柱上开设有与卡接块配合卡接的卡接槽。本实用新型的优点是便于对侧板进行拆卸，腾出更多的空间，便于工作人员检修镀膜机本体。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型支撑柜。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

现有一种真空镀膜机，如图1所示，包括支撑柜2、设置在支撑柜2上表面的一对真空腔1以及设置在支撑柜2内的镀膜机本体12，支撑柜1呈封闭的柜体，且支撑柜2的一侧开设有铰接门。

由于支撑柜仅在一侧设置铰接门，工作人员在检修镀膜机本体时，背离铰接门一侧的区域，受支撑柜封闭的侧板影响，工作人员活动的空间有限，很难对背离铰接门一侧的镀膜机本体进行检修。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，其优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于真空镀膜机的新型支撑柜，包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的外壁抵接，侧板的下端与底板外壁抵接，侧板与角立柱可拆卸连接，侧板朝向角立柱的一侧设置若干个卡接块，卡接块沿侧板的高度方向均匀布设，角立柱上开设有与卡接块配合卡接的卡接槽。

通过上述技术方案，需要对设置在支撑柜内的镀膜机本体进行检修时，工作人员通过将侧板朝背离角立柱的方向拉动，使得卡接块与卡接槽脱离卡接，将侧板从角立柱上拆卸下来，从而减小侧板对检修镀膜机本体时的阻碍作用，腾出更多的空间，供工作人员检修镀膜机本体。

本实用新型进一步设置为：所述卡接块上设置有穿过卡接块与卡接槽螺纹连接的螺栓。

通过上述技术方案，螺栓的设置，加强了卡接块与卡接槽之间的连接，从而加强了侧板与角立柱的连接，减小侧板从角立柱上掉落的可能性。

本实用新型进一步设置为：若干个所述侧板上开设有散热孔，侧板上设置有用于调节散热孔遮挡面积的遮挡板。

通过上述技术方案，散热孔的设置，使得镀膜机本体在工作时产生的热量及时的散发到支撑柜外，减小镀膜机本体损坏的可能性，延长镀膜机本体的使用寿命。

本实用新型进一步设置为：所述遮挡板与侧板滑移连接，侧板上水平开设有一对滑槽，遮挡板上设置有与滑槽配合滑移的滑块。

通过上述技术方案，工作人员通过将遮挡板朝散热孔方向滑动遮挡板，调节散热孔被遮挡的面积，调节支撑柜内镀膜机本体工作时产生的热量从散热孔散发的速度。

本实用新型进一步设置为：所述滑块截面为T型。

通过上述技术方案，使得滑块和滑槽之间的固定更加牢固，减小遮挡板从侧板上掉落的可能性。

本实用新型进一步设置为：所述角立柱与支撑板可拆卸连接。

通过上述技术方案，便于工作人员拆卸和安装支撑板，减小支撑柜在运输时的空间占用。

本实用新型进一步设置为：所述角立柱朝向支撑板的一侧设置有卡块，支撑板上设置有与卡块配合卡接的卡槽。