[实用新型]一种用于真空镀膜机的支撑柜有效
申请号: | 201921974822.4 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN211227326U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 李小平;王梅 | 申请(专利权)人: | 北京物科国华技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 支撑 | ||
1.一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:包括用于支撑真空腔(11)的支撑板(21)、与支撑板(21)平行设置的底板(22)、围设在底板(22)边沿与支撑板(21)抵接的若干个侧板(24)以及用于连接相邻两个侧板(24)的角立柱(23),侧板(24)上端与支撑板(21)的侧壁抵接,侧板(24)的下端与底板(22)上表面抵接,侧板(24)与角立柱(23)滑移连接,侧板(24)朝向角立柱(23)的一侧设置有滑块(241),角立柱(23)上开设有与滑块(241)配合滑移的滑槽(231),滑槽(231)由角立柱(23)的上表面竖直向下延伸,并与角立柱(23)的下表面留有一定距离。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述侧板(24)靠近底板(22)的一侧上开设有穿透侧板(24)的通槽(242),支撑板(21)与侧板(24)抵接的一端开设有卡接槽(212),侧板(24)上设置有穿过通槽(242)与卡接槽(212)配合卡接的卡接件(3)。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述卡接件(3)包括与卡接槽(212)配合卡接的卡接块(31)以及与侧板(24)外壁抵接的抵接板(32)。
4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述抵接板(32)上设置有与侧板(24)螺纹连接的螺栓(33)。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)与支撑板(21)可拆卸连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)朝向支撑板(21)的一侧垂直设置有卡块(234),支撑板(21)底部设置有与卡块(234)配合卡接的卡槽(211)。
7.根据权利要求6所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述角立柱(23)背离支撑板(21)的一端与底板(22)铰接。
8.根据权利要求7所述的一种用于真空镀膜机的支撑柜,其特征是:所述底板(22)上开设有用于容纳角立柱(23)的容纳槽(221)。
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