[实用新型]一种用于真空镀膜机的支撑柜

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的支撑柜，其技术方案要点是：包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧壁抵接，侧板的下端与底板上表面抵接，侧板与角立柱滑移连接，侧板朝向角立柱的一侧设置有滑块，角立柱上开设有与滑块配合滑移的滑槽，滑槽由角立柱的上表面竖直向下延伸，并与角立柱的下表面留有一定距离。本实用新型的优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机的支撑柜。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。

现有一种真空镀膜机，如图1所示，包括支撑柜2、设置在支撑柜2上表面的一对真空腔1以及设置在支撑柜2内的镀膜机本体12，支撑柜1呈封闭的柜体，且支撑柜2的一侧开设有铰接门。

由于支撑柜仅在一侧设置铰接门，工作人员在检修镀膜机本体时，背离铰接门一侧的区域，受支撑柜封闭的侧板影响，工作人员活动的空间有限，很难对背离铰接门一侧的镀膜机本体进行检修。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜机的支撑柜，其优点是便于工作人员对镀膜机本体进行检修。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种用于真空镀膜机的支撑柜；包括用于支撑真空腔的支撑板、与支撑板平行设置的底板、围设在底板边沿与支撑板抵接的若干个侧板以及用于连接相邻两个侧板的角立柱，侧板上端与支撑板的侧壁抵接，侧板的下端与底板上表面抵接，侧板与角立柱滑移连接，侧板朝向角立柱的一侧设置有滑块，角立柱上开设有与滑块配合滑移的滑槽，滑槽由角立柱的上表面竖直向下延伸，并与角立柱的下表面留有一定距离。

通过上述技术方案，工作人员需要对设置在支撑柜内的镀膜机本体进行检修时，可将相对应位于处的侧板向支撑板的方向拉动，使得滑块在滑槽内滑动，并从滑槽的上端滑出，避免侧板对镀膜机本体的遮盖作用，便于工作人员对支撑柜内的镀膜机本体进行检修.

本实用新型进一步设置为：所述侧板靠近底板的一侧上开设有穿透侧板的通槽，支撑板与侧板抵接的一端开设有卡接槽，侧板上设置有穿过通槽与卡接槽配合卡接的卡接件。

通过上述技术方案，当需要对镀膜机本体进行检修时，将侧板向支撑板方向滑动，当侧板滑动到通槽与卡接槽对齐时，将卡接件插设置到卡接槽内，从而将侧板固定在支撑板上，从而便于工作人员对镀膜机本体进行检修，也减小侧板丢失的可能性。

本实用新型进一步设置为：所述卡接件包括与卡接槽配合卡接的卡接块以及与侧板外壁抵接的抵接板。

通过上述技术方案，当卡接件插入卡接槽内时，卡接块与卡接槽卡接，抵接板抵接在侧板，从而加强了卡接件与支撑板的卡接，

本实用新型进一步设置为：所述抵接板上设置有与侧板螺纹连接的螺栓。

通过上述技术方案，当卡接块与卡接槽卡接，抵接板抵接在侧板上时，用过螺栓将抵接板固定在侧板上，从而加强抵接板与侧板之间的固定，减小侧板从支撑板上掉落的可能性。

本实用新型进一步设置为：所述角立柱与支撑板可拆卸连接。

通过上述技术方案，便于工作人员拆卸和安装支撑板，减小支撑柜在运输时的空间占用。

本实用新型进一步设置为：所述角立柱朝向支撑板的一侧垂直设置有卡块，支撑板底部设置有与卡块配合卡接的卡槽。